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标题: 均匀性修正大家来讨论 [打印本页]

作者: monk 时间: 2005-8-4 07:34
标题: 均匀性修正大家来讨论
最近遇到一个问题，镀膜片子的均匀性，怎么也修正不过来，请高手给点意见呀，给我个公式也行，听说是有公式的。就算是累一点我也要计算一下。看看到底能不能把内外排修正过来呀。谢谢！

作者: snebur 时间: 2005-8-4 08:12
首先问一下，您的工件盘是什莫形状的！采用活动的辅正版还是固定的？几种材料镀膜的？否则怎么给你建议！！！！！

作者: flyinlove79111 时间: 2005-8-5 07:19
加修正挡板,移蒸发源位置,调工件盘形状

作者: zz 时间: 2005-8-5 16:16
楼上的也太夸张了吧，大工程啊，还不如买台新的。
调节修正板一般就可以解决问题了。

作者: yaoaohua80 时间: 2005-8-5 19:05
呵呵，我以前看到过一个公式，下次帮你找一下。
不过，公式还是比较麻烦的，一般就根据你现有的蒸发源和基片的距离，还有蒸发源的真空是的位置，根据测得是数据，适当调节修正板的大小了。

作者: yaoaohua80 时间: 2005-8-8 19:32
昨天找了，没有找到！
其他高手应该会知道的，他们一定会给建议的。

作者: monk 时间: 2005-8-9 07:34
为什么还是没有答案呢？给点建议吧！谢谢了，各位大虾！谢谢,yaoaohua80!

作者: monk 时间: 2005-8-10 06:44
二楼的兄弟，我们装工件的罩子是从内到外放4排，修正板位置固定，材料用到TiO2和SiO2。请给点意见了。

作者: optorun 时间: 2005-8-12 03:58
如果你的设备是两把枪的话（左右各一），可采用两个大小不一样的mask，分别求出tio2,sio2的tooling，也就是说采用两个tooling。

作者: yaoaohua80 时间: 2005-8-15 19:41
说的有道理。
两块板分别修正，不知道这里的高人们用什么方法来修正。

作者: xxyz 时间: 2005-8-16 05:32
楼上关于设备是两把枪的情况均匀性修正能否讲明白些？两个抢修正时有没有相互干扰？谢谢！

作者: optorun 时间: 2005-8-17 04:16
H,L分别镀单层做均匀性，修好H，L的均匀性，镀膜系后再同时修h,l的mask.

作者: yaoaohua80 时间: 2005-8-17 05:27
当然是先修单一材料的均匀性了，一般对于常用的材料已经进行了这样的修正。所以在接下去修正得时候，只要少许的修正了。然后是开始镀多层膜，根据内外排的反射率曲线（透射率）来进行调整修正板的宽度。

作者: zz 时间: 2005-8-17 16:20
如果你单一材料的均匀性好了就可以不用再修膜系的了,否则变量太多,一膜得有一个MASK,晕死你.

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