高精度镀膜监控测试设备 - 光电工程师社区

Filmonitor BS
光学镀膜宽光谱在线监控系统

Filmonitor BS光学薄膜宽光谱在线监测系统是采用国际先进技术和元件最新研制开发的具有国际先进水平的在线镀膜实时监控系统。通过在线测量膜层的光谱透射比或反射比对光学膜系进行监控。Filmonitor BS-C是在原有的光学薄膜宽光谱在线监测系统基础上吸取了广大用户的意见改进而成的。
已经在多家用户成功应用于眼镜片绿膜、高通或低通滤光片、带通滤光片、宽带增透膜、分光膜、激光器窗口、望远镜红膜等膜系监控。
系统简介：
Filmonitor BS是一个多波长光谱仪系统，其中包括了长寿命电压卤钨光源、线阵CCD探测器、嵌入式计算计以及相应的数据采集、计算软件。光缆联接的光路保证了系统的柔和性以及高信噪比和长时间工作稳定性。线阵CCD使得全光谱范围内每个波长处的信号都能够同时采集，并在恶劣的光学环境及采集到较低的信号。
系统可以配置为透射模式或者反射模式
特点：
* 自动化程度高,提高成品率和镀膜结果的同一性
* 特别适合与非规整膜的镀制监控
* 快速,精确,可靠
* 安装和操作简单
* 提供在线镀膜工艺指导(选项)
* 减少对镀膜操作者的依赖
* 适用于已有的镀膜机改造及新镀膜机的配套
* 全光谱分析：在400-800nm光谱范围内实时监控比较片的透/反射曲线
* 易于扩展：预留控制接口，可以与离子枪、挡板和其他设备联接。
* 实时评价由于各种原因造成的偏离，然后计算新的NK值调整镀膜工艺。
评价函数拟合、光谱拟合或者理论曲线匹配功能
新的型号带给您：
* 更美观、友好、功能齐全的软件界面;
* 新增加的目标参考曲线功能;
不仅可以把理论光谱曲线设为参考曲线还可以把符合技术要求的最终光谱曲线设为目标参考曲线，尽可能消除了由于膜料的理论折射率数值和使用状态下的数值差异造成理论光谱曲线与实际光谱曲线的不一致性，进一步提高镀膜产品质量的一致性;
* 膜系每一层的透射或者反射颜色显示为产品质量的同一性提供了有一个使用的手段；
* 镀膜过程数据回放功能为工艺分析带来更大的便利;
* 更实用的折射率测量功能,同时测量可能的吸收;
技术参数
* 系统工作温度：10 - 35℃
* 光谱范围：400～800nm
（可设置在400～1000nm，需要另外付费）
* 分辨率：2 - 5nm
* 哑元技术消除暗噪声影响
* 低频快门以提高信噪比
* 稳定度： 0.3% @100%； 0.05% @4%以下
* 测量速度: 2～5次/ 秒
* 测量精度： (0.5%

软件功能简介
* 适用于色散和吸收材料
* 包含膜料库
* 膜系计算：实现100层以内光学薄膜计算
* 实时监测：膜系计算结束后，进入实时监测功能，包括：
显示理论透反射比曲线和/或实测透反射比曲线、标定、参考波长、膜系参数、色坐标计算、关闭挡板等。
* 折射率测量
折射率测量可以将实际镀膜过程当中，工艺
参数一定的情况下，计算出与实际膜料折射
率相符的数值。

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