光电工程师社区

标题: 单晶硅的加工 [打印本页]

作者: yanzi 时间: 2005-8-28 04:56
标题: 单晶硅的加工
我最近在做硅的加工，我很少有这方面的加我的经验，请在家赐教！

作者: xirui 时间: 2005-8-30 21:54
硅加工最简单了，40-20像玩儿似的。

作者: luimangsosa77 时间: 2005-9-3 20:58
是吗,要请教了.好象很容易出道子的,
应该用什么抛光液比较好?

作者: z983112 时间: 2005-9-7 04:14
请问你们到底能加工到什么精度，我也在作这个，谢谢帮忙

作者: ligciomp 时间: 2005-9-8 19:21
我们这里能加工,加工精度高,质量保证,有多年单晶硅加工经验.
面形可达到波长／６，　粗糙度小于０.５nm．
我们可以帮你加工．
如有意请联系　ligciomp@yahoo.com.cn

作者: xirui 时间: 2005-9-14 00:00
低抛加工，用特种晶体抛光液。注意细抛最后半小时。做光洁度就靠最后半小时。

作者: bhs 时间: 2005-9-17 17:36
楼上的能说一下特种抛光液是什么吗？低抛是什么意思呀？

作者: yanzi 时间: 2005-9-19 03:44
是有那种抛光粉，低抛加工的话，用氧化铈是达不到三级光洁度的！

作者: bhs 时间: 2005-9-20 03:40
低抛到底什么意思呀？谁能帮我解释一下吗？谢谢了

作者: Daniel-Yuee 时间: 2005-9-20 06:42
这是一种很成熟的工艺了吧

作者: bhs 时间: 2005-9-22 05:35
还是不明白老人家！！！！！

作者: xirui 时间: 2005-9-22 22:40
特种晶体抛光液据说可以抛很多晶体，在国内据说只有一家卖。不过我试了一下，多数晶体用它抛光效果不是很好，但是抛硅片有特效。楼上说用氧化铈抛硅片？肯定不行。没听说过。

作者: xirui 时间: 2005-9-22 22:49

低抛，古典抛光嘛。做晶体现在要做到高精度，好像只有做古典法。高抛做晶体，我还没有认真试过。

作者: yanzi 时间: 2005-9-23 05:16
请你告诉我到底是那种抛光液，可到那个公司购买，非常感谢！我的邮箱hongyanfengyeyanzi@126.com,我现在做的都是用高抛加工的，光圈可以做到一个圈，光洁度可以达到60-40，可是还不能满足客户的要求，他们要求做到0。5个圈。但是用低抛做的话，用氧化铈抛光达不到光洁度的要求！

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)