光电工程师社区

标题: 求助：怎样解决膜层的牢固性？ [打印本页]

作者: molang2003 时间: 2005-8-31 20:13
标题: 求助：怎样解决膜层的牢固性？
晚辈是新手，在工作的过程中出现了下面的这个问题：
我在试膜时（只上几片装膜夹具），膜层的牢固性很好，不会有脱膜的现象。但是，当装满整盘后，可膜层就会无故脱落，而且这种情况还很明显。就此情况困扰了我多日。试着增高真空室的温度、手擦清洁零件表面多种方法，都还是不行。
所以，还得请教各位前辈能给我支支招，看我那些地方应该注意、那些参数还能改改？

作者: wish 时间: 2005-9-1 00:28
脱膜是全部脱还是部分？或者脱膜的位置和只放几片的位置一样？

作者: zz 时间: 2005-9-1 00:38
什么产品?????????
夹具是否清洁?

作者: 王李 时间: 2005-9-1 04:53
可能被镀件的侧面还残留抛光胶，你可以先将他烤一下再镀

作者: molang2003 时间: 2005-9-5 04:22
是这样的，通常情况下是在刚镀了过后，不是那么明显脱的厉害。是经过一段时间后，呈大面积的出现这种情况，而且它并没有什么规律而言。产品是K9的直角棱镜，光洁度好象不存在有多大问题。还有，这种零件在别的镀膜机上能正常的蒸镀且没有脱膜！

作者: chz321 时间: 2005-9-5 18:06
会不会是真空度太低了，因为基片放的越多，放气量就越大，抽真空时就越慢，你试着将真空度抽高点看看，

作者: molang2003 时间: 2005-9-7 05:26
多谢楼上的老兄了！现在我把真空改高了些。而且温度也比以前大幅度的上调。现在要好些了！如再有什么问题，在麻烦了。

作者: zhangking 时间: 2005-9-8 23:44
可能你要加长你的烘烤时间，让受热均匀，温度降低点再放气

作者: raofengx 时间: 2005-9-10 22:47
试膜时和整盘装时温度差异较大，大概差40-50摄氏度。另外，温度达到设定温度后，保温多长时间镀膜，还有，热电偶显示温度和玻璃温度不太一致，最好用表面温度计测一下实际温度

作者: LEIJAI 时间: 2005-9-12 04:49
镀膜后曲线怎么样，如果真空度和温度有问题的话，曲线应该也有问题。

作者: LKJHGFDSA 时间: 2005-10-13 20:20

要加长你的烘烤时间，让基底受热均匀.

作者: tonylxt 时间: 2005-10-14 01:20

我也有碰过啊

作者: wottlin100 时间: 2005-10-14 19:45
国产镀膜机吧？主泵是扩散泵吧？

作者: tiankongxbz 时间: 2005-10-15 19:38

1.基片的清洁度非常重要

2.夹具和治具的清洁度和干燥要保证

建议用喷砂清洗干净后在200度的烘箱内烘烤2小时

3.棱镜比较厚升温时间要保证到棱镜的温度和设定温度一致

建议先用3小时(含升温和恒温时间),再逐步的降

4.应考虑把镀膜的温度提高,至少使用300度,建议350度

5.镀膜完成后保温30分钟,再降温

6.如果有离子源不会有类似问题

作者: zxs2jcy 时间: 2007-9-20 10:58
There are a number of ways to modify the nucleation density of
depositing atoms on substrate surfaces including:
• Change the deposition temperature
increasing—increases reaction with the surface; increases surface mobility
decreasing—decreases surface mobility
• Increase the deposition rate to increase collision probability of the adatoms
• Change the surface chemistry to make the surface more
reactive—e.g., cleaning,oxygen treatment of polymer
surfaces
• Sensitizing the surface by the addition of “nucleating agents”
• Generation of nucleation sites on the surface—e.g., lattice
defects, charge sites on insulators by
© energetic particle bombardment to produce lattice
defects
© incorporation of species into the surface by ion
implantation or chemical substitution
© electron bombardment —charge centers on
insulator surfaces
© photon bombardment ]—charge centers on insulator
Surfaces
• Co-deposition or absorption of reactive species
• Surface morphology—roughening or smoothing
• Creation of a new surface—“basecoat” or “glue layer”

作者: HGcoating 时间: 2007-9-20 11:12
国产机子常会有这种现像

作者: 小西 时间: 2007-9-21 20:22
不要一有问题就扯到国产机上!还是跟工艺有关!除了tiakongxbz说的我还想补充几点,膜系设计注意底层材料选择跟基底结合好的材料,膜层太厚的注意一下应力问题!听楼主的描述好象跟膜层应力大也有一定关系!

作者: shaodong1311 时间: 2007-9-21 21:16
恩，楼上说的好啊，应该是应力有问题了，我看主要是低n的材料应力大了

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