光电工程师社区

标题: [讨论] 镀膜时间 [打印本页]

作者: xqxzk    时间: 2005-9-15 02:57
标题: [讨论] 镀膜时间
大家来讨论一下自家镀膜机每罩镀膜的时间有多少...
作者: ic5    时间: 2005-9-15 16:30
你看这个问题问的:
    我用的镀膜机,有每罩30分钟的(AR Coating);也有2-3天的(DWDM)
作者: captainH    时间: 2005-9-15 17:18
连抽真空才30分钟么?
真快!我们的设备抽真空就要1个多小时到两个小时!


作者: raofengx    时间: 2005-9-15 18:02
不会吧,AR coating 30分钟一罩,你用的不是连续式吧
我们这里60-70分钟一罩
作者: wish    时间: 2005-9-16 00:36
镀膜时间还跟基片大小密切相关,大而厚的片子需要恒温几个小时呢。
作者: yandz    时间: 2005-9-16 02:53
AR 25分钟一炉不奇怪啊。
作者: ic5    时间: 2005-9-16 15:51
抽真空时间和镀膜时间,这些参数和设备有关系。 我的设备是日本OPTORUN OTFC1300 抽真空(<2*E-2 Pa)需要10-15分钟, AR Coating(2层,离子源辅助,不加热镀膜) 需要20分钟左右
作者: raofengx    时间: 2005-9-16 18:47
连续式镀膜机镀AR膜30分钟一罩,
三个真空室,第一个真空室加热,第二个真空室始终保持高真空,第三个真空室冷却,我们
公司有一台,可惜现在坏了,只能镀单层,镀AR膜有印子
作者: zz    时间: 2005-9-21 16:08
好东西啊///////////////////////////
作者: 章钱国    时间: 2008-1-26 12:54
也太慢了吧,一般的话,一锅大约二十二三分钟就可以了啊。你们用的是什么机啊,
作者: 章钱国    时间: 2008-1-26 12:55
也太慢了吧,一般的话,一锅大约二十二三分钟就可以了啊。你们用的是什么机啊,
作者: tfc    时间: 2008-1-31 09:03
现在生产的国产机,昨天去厂家测25分钟到5*10-3Pa(加热250度)。
作者: zzzz    时间: 2008-2-2 09:16
只要抽速够,真空好
那很正常啊..........
作者: 木子李    时间: 2008-2-22 21:42

作者: jingxiaobao    时间: 2008-3-1 02:21
我觉得这个不能用一次多长时间来说明,大家都不清楚对方的真空度要求,肯定都不一样了.
我们用的就是OPTRUN的设备,.真空度要求6.5-4Pa,还要保温.整个过程4小时左右.




欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2