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标题: 请教离子源的相关问题 [打印本页]

作者: jipeng 时间: 2005-9-20 06:52
标题: 请教离子源的相关问题
有哪位高手离子源用的很熟练啊! !有用1100m的镀膜机装有离子源的吗? 有没有作用范围?离子源是北京空间直径12cm的.我镀的宽带膜(SiO2+TiO2)150度怎么刚镀完和凉下来的曲线差别很大啊我这先谢谢了啊!!

作者: zz 时间: 2005-9-21 15:57
12CM的工作直径肯定不大于1100
膜不够致密,凉了漂移了

作者: xiaozhou 时间: 2005-9-22 05:51
屏极电压多少?束流多少?充的什么气体?

作者: jipeng 时间: 2005-9-22 06:50
谢谢!屏压300 束流100可以吗?另外我把离子源口径与基片距离缩短到多少合适呢?现在距离大概是800mm,充的是O2=15SCCM,真空度在1.1*10-2Pa.

作者: xxyz 时间: 2005-9-23 00:11
这个需要做工艺实验,大概要几次实验吧.

作者: zjm123 时间: 2011-3-1 15:37
加提前量,出炉后吸水气会飘移

作者: sery1234 时间: 2011-3-1 16:00
楼上几位看法高见，大概差不多就这样了，另外你的氧气压力小了点，最少应该到1.8以上吧，否则你的材料氧化程度不够。另外你的离子源的功率也不够，如果够的话漂移量应该在2nm以内，这个应该是你可以接受的漂移范围！

作者: fql3310 时间: 2011-3-6 00:46

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-11 19:36

作者: JINFENG215107 时间: 2011-3-12 22:39
可以提供点关于离子源的资料给我吗？接触的比较少。谢谢！629432237@QQ。COM

作者: 缘睐汝痴 时间: 2011-3-13 23:32
学习了，这些都是很常见的问题啊

作者: mxbplayboy 时间: 2011-4-5 16:36
学习中

作者: ghtzna 时间: 2011-4-14 16:41
看起来其此离子源没有发挥应有的作用，功率参数设置是什么

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