光电工程师社区

标题: 问：如何解决此类清洁度的问题？ [打印本页]

作者: molang2003 时间: 2005-9-23 03:31
标题: 问：如何解决此类清洁度的问题？
情况是这样的：在镀好屋脊棱镜的两脊边上有一层很明显且类似于灰尘状厚厚的一层灰迹。可以排除是零件装到夹具之前脊两边被外界环境的不洁产生（做过试验）。因为本人刚涉足镀膜此行，好多实践还有待提高。现在初步判断可能是在蒸镀的过程中膜料的蒸镀条件的不适所至。想在这里听听各位前辈的高见，分析原因的根本，及其所解决的合理方法。非常感谢！
忘了注明所用的寻星试工装

作者: chz321 时间: 2005-9-23 05:57
麻点吧，你镀的是多层膜吗，
有没有用离子源，如果有用有可能是离子源打火引起

作者: yh15430 时间: 2005-9-23 16:24
真空室清洁也很重要！

作者: molang2003 时间: 2005-9-25 04:41
镀的是多层膜，没有离子源。如果是麻点的话，应该是不多的几个亮点呀？可情况是很均匀的分布在脊的两侧。还有，不是有多种尺寸的零件嘛，其中大的就没这种现象，而小的这种的现象好象还挺明显的。说到真空室的清洁度，今天我们把真空室给彻底打扫后了一遍，结果好象也没有多大的改观。所以，我还是怀疑是在蒸镀的过程中产生的。因在蒸镀的过程中，零件的脊就像一把剪刀的刀刃档在被蒸镀的空间，从而在蒸镀每层时在该部分（屋脊两侧）的沉积过程有别（或多、或少）与其它大面的沉积过程。可能就导致了这种情况的产生。简单分析了一下，很想请请各位前辈意见了。不甚感激！

作者: zz 时间: 2005-9-28 21:55
是否是指膜色不一致呢?
不明白灰迹是什么?

作者: nqh1978 时间: 2005-10-2 22:02

请问,你们是镀什么膜?用什么膜料?一般情况下,你给的描述越具体,找到解决方法的机会越多.

首先,看屋脊两恻有镀膜吗? 如果没有镀膜,则出现的不纯物可以去除,这是肯定的;

如果去不掉,很与可能是漏膜造成的,建议做个夹具以防止漏膜,具体方法可联系我.

作者: molang2003 时间: 2005-10-10 04:04

哦^^^!挺感谢各位前辈的献言.

这段时间,我试着用了好多种方法,值得骄傲是在屋脊两侧均匀分布的类似灰迹薄薄的一层灰不见了.但令人头疼的问题又来了.就是像5楼前辈所说的,又出现了两面的膜色不一致现象.十有八九肯定是修正板不合适,但工装是寻星式工装,不能公转式工装那样好进行修正.出现这种情况与膜系的设计有关系吗?具体的比如说,电子枪的束流、扫描光斑的大小......

膜系为分光膜,膜料:tio2,mg2f,两侧有膜

感激不尽!!!

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