光电工程师社区

标题: 如何解决铝膜牢固度低 [打印本页]

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-5 17:51
标题: 如何解决铝膜牢固度低
普通玻璃镀铝+氧化硅保护膜。玻璃的洁净度应无问题。也有粒子轰击（20分钟），但铝膜牢固度仍很低（整个镜面一擦就掉）。是否应该加温？
非常感谢！
RB

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-6 18:22
另外真空:3.9e-3pa, 电流：80A

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-7 18:46
另外，镀膜机未配冷井。是否也是膜不牢的原因？

作者: stick 时间: 2005-10-11 18:14
这么高的真空度应该没什么问题，可能是其他的原因。看看是不是返油了。。。。

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-11 23:32

如何判断是不是返油了?

作者: stick 时间: 2005-10-13 23:44
用酒精布擦一下高阀盖板和真空室内壁。。看看布上有没有油。。这是返油比较厉害的时候能看出来的。。。

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-16 05:33
看来无返油。还有其他可能吗？

作者: 2614162 时间: 2005-10-17 01:28

镀膜时真空度多少,基片温度呢?可加高基片温度,如有离子源,可用其辅助

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-17 22:32
真空:3.9e-3pa, 电流：80A, 温度：室温，无粒子源

作者: stick 时间: 2005-10-17 22:42

如果没有返油。。。在这么高的真空度下应该没问题的。。。

电流可以加大一点的。。。到100都是可以的。。。

就像你说的真空很高。。基地清洁很好。。无返油。。

具体什么原因我也分析不出来了。。。

作者: njnikon 时间: 2005-10-20 21:42

我认为真空度还是低了一点,可到2E-3Pa

作者: brucelee80 时间: 2005-10-21 18:37

稍微加点温度，试看看水气过重。遇到过类似情况！！

作者: repulsebay1234 时间: 2005-10-24 19:55
感谢各位帮助，但真空度到2E-3Pa，和加温都无帮助。另外一点，本设备老旧，真空抽到4E-3Pa已要2-3小时。很可能是因为时间太长，返油造成的。下一步准备加冷凝井试一下。各位有何高见？

作者: guizi315 时间: 2005-10-25 21:07
楼主问题是否解决了，提出来共享一下，我也类似问题

作者: repulsebay1234 时间: 2005-11-1 07:41
尚未解决，仍在努力。大概是设备问题，抽速太慢。

作者: Jobyan 时间: 2005-11-1 16:50

在鍍鋁前先加鍍一層sio2(加溫),再鍍鋁和保護層.

要請我吃飯哦!

作者: raofengx 时间: 2005-11-2 16:39

也许真空度测量有问题，显示的是假象，用复合真空计确定一下真空度

作者: shxjgxyqyxgs 时间: 2005-11-3 03:13
保护膜有多厚，保护膜厚薄与颜色很重要，太薄铝膜不牢，颜色深吸收大。

作者: molang2003 时间: 2005-11-3 05:18

是不是本身基底的清洁度做好啊？

作者: josephli 时间: 2005-11-8 04:27

1，真空未必需要十分高。5E－3Pa以下即可。

2，镀20-50NM al2o3打底（用离子源辅助）。

3，镀AL时温度尽可能低，要小于80镀。镀AL时速度要快。

作者: lubangyuan207 时间: 2005-11-10 03:09
我懂，请与我联系13921417963

作者: kuan 时间: 2005-11-11 18:50

基板铝膜间加镀键结材料

作者: fujia6805 时间: 2005-11-12 03:23

真空抽到4E-3Pa已要2-3小时？建议改造设备。一般要求20--30min镀完的。

作者: 春日步 时间: 2005-11-15 19:11

抽真空这么慢是不是扩散泵或是真空计有问题?同意上面几位的说法,可能是铝与玻璃间的黏着力不好,应考虑先渡一层其他膜种

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