光电工程师社区

标题: [求助]设备改造 [打印本页]

作者: 天涯孤星 时间: 2005-10-28 00:12
标题: [求助]设备改造
我司现有北仪的镀膜机5台，DM700C三台，DM700A二台，现抽速每炉需要1个小时，想改造下机器，提高抽速，希望高手指点如何改造。
谢谢！

作者: martin1980 时间: 2005-10-28 00:30
应该换油了吧，或者换新的抽气泵！

作者: 天涯孤星 时间: 2005-10-28 01:05

现在的系统是2X-15泵加K130的扩散泵，抽真空要求到6*10-3Pa。

新设备进来时，抽速还可以，25-30分钟，使用时间越长，抽速就越慢。

换油后，有改善，但并不是很明显。

有人建议在机械泵和扩散泵之间加150的罗茨泵，不知道效果如何？

作者: snebur 时间: 2005-10-28 06:58

当然是好主意！MBP会提高抽速！

作者: xfx9721 时间: 2005-10-28 07:56
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作者: 天涯孤星 时间: 2005-10-28 17:49

我这里工作连轴转，机器没有停的时候，这点很难做到。

作者: yh15430 时间: 2005-10-28 19:59
机器脏了，不清洗，你们提高抽速也解决不了问题。

作者: samtgt 时间: 2005-10-28 22:25

呵．．．磨刀不误砍材功嘛．．．

作者: flashzhang 时间: 2005-11-9 19:40

主要应该是前级泵抽速太慢，加MBP!

作者: leidiygs 时间: 2005-12-1 23:07

清洁真空室很重要，否则换了油几天就不行了，哥们！

作者: 洪峰 时间: 2005-12-3 18:26

这样的抽气系统好像抽速不够啊。现在700的机器基本都是70的机械泵+500的矿散泵了

作者: 天涯孤星 时间: 2005-12-5 19:18

在机械泵与扩散泵之间加150的罗茨泵经试验，还不如我现有的设备省时（换油后测试），如果加大扩散泵，是不是口径不一样呀，如果一样，换扩散泵也可以和机械泵也可以。

总比买新的强，呵呵

作者: 洪峰 时间: 2005-12-7 15:58
机器DIY也很过瘾：）你加大的话难搞的接口是抗散泵接口。

作者: 天涯孤星 时间: 2005-12-7 16:19
是呀，现在问题就是接口，有人提议用两个300的扩散泵并联，是不是接口也成问题，另可能平台也不行了。

作者: sanma 时间: 2005-12-8 02:57
彻底清理真空室（包括加热盘、底板、高阀、冷阱等），清理ZX-15及DP泵腔内脏物并换油，检查是否漏气，更换老化的密封胶圈。

作者: yangmin 时间: 2005-12-10 16:31

生产忙，买台新设备了。

作者: fsj999 时间: 2005-12-13 02:06
一个小时你还闲慢呀,我们公司用的现在抽一炉要2个小时呢

作者: lb_80 时间: 2005-12-17 22:03
150的罗茨泵前极用15的机械泵抽应该不够提供罗茨泵所需的出口极限，用30L/s的机械泵加150的罗茨泵应该会明显提高抽速。
抽速更大的扩散泵口径不一样的。真要换的话可以考虑加过渡法兰。
我个人觉得你的真空度要求并不算太高，只要机械泵和罗茨泵的抽速足够大的话就可以减少抽空时间了。

作者: xiaohe 时间: 2006-2-14 19:52
加配低温设备可以改善抽空效率。

作者: jufeng 时间: 2006-2-15 00:37
哪有不吃草料只拉磨的驴呀！设备改清理时是要清理的，还是彻底清理一下吧！

作者: yingquan 时间: 2006-2-15 00:44

POLYCOLD每12小时要要除霜，否则影响速度。前级泵换大的

作者: wazxq 时间: 2006-2-15 00:47
POLYCOLD每12小时要要除霜？~~~~~~~~~~~~~~，不除有什么问题

作者: 楼阁情丝雨 时间: 2006-3-1 07:00

同意15楼观点，还是认真维护一下你的设备吧，有句话“二流的设备，一流的产品”

作者: wo07102329 时间: 2007-4-10 18:12

我觉得不洗机器是件令人作呕的事情。机器是基础设施，没有它怎么能行呢，不干净怎么能行呢！

作者: repulsebay1234 时间: 2007-6-13 11:08
一般钟罩多久就要彻底清洗？

作者: eaea_0 时间: 2007-6-13 16:59
在下是真空油厂家的,从我们的角度来看,楼主设备的真空度不算高,
经常换换油应该就会有改善的。
顺便问一下，现在用的扩散泵是硅油还是合成油？

作者: zhengtianliang 时间: 2007-6-13 20:36
标题: 回复 #8 samtgt 的帖子
说的很好，其实很多时候并不是机器老化而是太脏，我用的是南光的700机器，原来也是抽不动，大洗后改善很多，机器用久了好多密封圈都老化了，好多该换了。我从事镀膜也从事修机器如果需要可联系我。
zheng-tianliang@163.com

作者: raofengx 时间: 2007-6-14 15:58
加罗茨泵解决不了问题，它只在几帕到一千帕时提高抽速，
设备多保养，换密封垫才可以。

作者: zhengtianliang 时间: 2007-6-15 13:03
标题: 回复 #25 repulsebay1234 的帖子
那要看你镀什么膜。还要看你机器的使用频率。不是一盖而论的。

作者: gb936 时间: 2007-6-15 23:15
保养维护很重要，配低温冷阱也可。

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