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标题: 蓝宝石衬底加工技术 [打印本页]

作者: Daniel-Yuee 时间: 2005-10-28 01:56
标题: 蓝宝石衬底加工技术
有没对这个技术感兴趣的?比如BOW的解决,表面粗糙度的问题... ...
都两年了,现在国内还没有能够规模化生产的,甚至没有再作出过加工工艺技术的,实在是郁闷... ...
... ...

[此贴子已经被作者于2005-10-27 17:58:23编辑过]

作者: Daniel-Yuee 时间: 2005-10-30 00:51

没有感兴趣的?还是?

作者: bandongqing 时间: 2005-11-1 18:55
天津晶岭电子材料有限公司有蓝宝石抛光的产品。022-28337133-8005 石先生

作者: wlsly 时间: 2005-11-2 18:16

你想说什么？如果我感兴趣你有啊，还是让大家把知道的都写出来讨论啊。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2005-11-3 01:17

写出来讨论当然最好,至于这个技术我应该还是知道一点的

作者: xirui 时间: 2005-11-4 20:37
蓝宝石加工主要是精磨的辅料和抛光的辅料，用对了很快的。以前经常加工，不是太难。

作者: 联合晶体 时间: 2005-11-7 23:29
材料我和楼主都有，谁做成功了呢？郁闷中。。。。。。

作者: kevengao 时间: 2007-1-3 20:33

您好！我公司是生产金刚石抛光液的，可以用来抛光蓝宝石产品。可能达到达很好平面度，不会有塌边的现像产生。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-4-1 03:17

我做成功了，不过那是很就以前的事情了

作者: wlsly 时间: 2007-4-4 18:10

[B]以下是引用[I]Daniel-Yuee[/I]在2007-3-31 19:17:00的发言：[/B][BR]p我做成功了，不过那是很就以前的事情了/p

可不可以给点提示！！！

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-4-6 20:15
提示？您不是做SiC吗，现在也加工蓝宝石了？

作者: jsuijie 时间: 2007-4-13 22:19

于兄：

　　好！给你发了E-mail为何一直没有回复呢？

作者: kaka 时间: 2007-4-16 22:30

楼主你那能加工蓝宝石吗

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-4-19 16:32
标题: 88

巨化目前只提供蓝宝石晶体粗加工的毛坯

作者: nptec 时间: 2007-6-30 09:07
这里有人做碳化硅吗？现在能做几寸的了，微管道能控制到多少了，有兴趣联系一下，
nptec.cn@gmail.com

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-7-7 17:19
蓝宝石啊，你咋就这么难整呢！还有碳化硅

作者: cscaosheng 时间: 2007-7-11 16:20
应该不久的将来蓝宝石\碳化硅加工工艺就该解决了吧.
相信国人!

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-7-11 22:58
蓝宝石的加工工艺已经解决了的

作者: Daniel-Yuee 时间: 2007-12-19 20:34
实在是无聊中

，翻出来晒晒太阳！

作者: 蓝可狄光 时间: 2008-1-3 10:52
蓝宝石加工工艺已经很成熟了，BOW<=5UM，SURFACE ROUGHNESS<=0.3NM,这些都不是什么新鲜的咚咚，包括倒角和晶向等。现在订购的产品有两种，一种是精磨片，另一种是开合即用，要达到净化表面。这些都不是蓝宝石生长人员关心的问题，应该关心晶体的生长质量，能够提供高质量的毛坯就是生长工程师的目标了。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-1-3 13:06
呵呵，蓝宝石衬底从生长到加工，一个公司做完整个流程是很正常的事情，怎么会没有关系呢？

蓝宝石加工工艺很成熟？国内并不见得吧？国内现在硅片的加工水平也就美、日等的80年代末90年代初的水平，蓝宝石能进步如此之快？

国内哪家的很成熟？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-1-3 13:08
就目前国内几家MOCVD使用的国内加工的片子，效果好像并不好哦，出来后的产品在亮度、利用率很多方面都有折扣的吧？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-1-3 13:22
京瓷也有自己生长吧，他们的开盒即用的产品应该不是委托加工的吧？

HONEYWELL也是自己生长晶体，加工好像也不是别人给做的？

Rubinco只做毛坯吗？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-1-3 13:23
就连国内有的搞加工的都准备或者有的已经开始长晶体了

作者: 蓝可狄光 时间: 2008-1-4 10:28
至于是一个公司做完整条生产线与否那是公司的问题，于老板长了这么多年蓝宝石晶体了在资历上应该在国内属第一了吧，但在CMP抛光，国际SAPPHIR SUBSTRATES SPECFICATION,净化清洗工艺及配方设计，亚纳米表面检测，清洗后封装技术等方面是不是也是国内一流呢？晶体生长和晶体加工都是互相依存的，但他们永远是两个部门。不知道于老板是怎么理解的。人还是要分男女的，虽然差别不大，但决不会在身份证上没有性别，不然就是假的了。人外有人，山外有山，一个行业发展的成熟度是要看分工的细化程度，一个专家是否资深要看能将该专业细化后了解的程度。如果仅停留在粗浅的表面，连简单的分工细化都无法分清楚，只是传播网络上到处都有的信息，至多只是个信息员。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-1-4 10:48
呵呵，本人小喽罗一个，所以才需要学习啊

[ 本帖最后由 Daniel-Yuee 于 2008-1-4 10:59 编辑 ]

作者: 蛛蛛111 时间: 2008-1-8 14:51
专心做好一件事就行了，不过现在蓝宝石在衬底方面的应用有可能给硅取代了，在衬底方面的发展估计有限了

作者: 蓝可狄光 时间: 2008-1-10 12:38
蓝宝石衬底在SOS器件方面还是有很大的用途的，只是现在很多信息保密，国外应用除LED外，在其他器件方面很多。有那么多厂商增产投资，不是没有道理的。很多东西都是要讲效率和性价比的，如果效率提不上去，从长远来看，其性价比也就不高了，很快就会被淘汰。所以还是要对自己的产品有信心。

作者: 青天一云 时间: 2008-11-1 21:23
我是作蓝宝石超声波振动磨削加工技术方向的博士生，现在着重通过磨削阶段将sapphire粗糙度最小化.达到纳米级.很高兴和各位有经验专家交流学习.
我的msn zhiqiangxuan@hotmali.com

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-11-1 22:01
EPI要求是埃级的

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-11-2 21:01
自己顶，整天阴天下雨的，出来晒晒太阳

作者: ntschina 时间: 2008-12-25 16:26
其实衬底加工需要选择好的设备应该没有问题的。

如 MONOCRYSTAL 他们原先使用的是日本的秀禾设备，后来经过2年的使用后，精度达不到要求，还是购买了我们公司的设备，我认为这个东西跟设备有很大的关系， MONO现在已经引进了我们公司的8条生产线。

中国国内应为投资问题，很多小公司不原意投资，很多大公司引进的人才是台湾的，花大把大把的钱购买日本和美国的设备，不得不承认德国的设备优良，但韩国日本的都在同一水平上，一般般。德国的自动化程度比较高，但精度也是属于一般般。

作者: ntschina 时间: 2008-12-25 16:28
其实这个东西设备原因比较多，品质稳定，加工稳定的设备就是好设备。

当然，蓝宝石也是， AlN， Al2O3， SiC等因为材质不一样使用的盘和研磨液都不一样。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-12-25 20:27
设备是有影响但不是关键，小日本曾经对国内某公司的设备鞠躬，但是他们也没做出。
国内目前抛单晶硅的设备先进的很多，但是我们的单晶硅加工水平还是比美日落后十几年。

设备有影响，但是能够满足要求就可以。国内现在能够小批量提供衬底的深圳某公司的设备也都是国产的设备。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2008-12-25 20:31
补充下，即使跟国外公司使用同样的磨盘、液液不见得能做出合格的东西，我不否认设备的影响，但是工艺才是最关键的。
所以有美国佬敢蔑视我们“你们中国有技术，也知道有些东西怎么做，但是你们就是做不出来！”原因就是我们没有工艺！

纯属个人意见，闲来无聊，消遣一下！欢迎拍砖

作者: bonnie_cheng 时间: 2009-1-6 10:14
设备不是最关键的。关键确实还在加工工艺。

作者: eddytao 时间: 2009-1-21 09:39
工艺的确重要，好的设备和材料也是基础，没有基础，工艺再怎么弄都难，巧妇难为无米之炊啊。。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2009-1-21 09:47
古典的方法也可以作出，就是效率低而已！

作者: ntschina 时间: 2009-2-7 18:07
本帖最后由 ntschina 于 2009-2-11 17:30 编辑

根大家虚心探讨，关于翘曲问题的产生问题。希望多多了解相关知识。
俺MSN：nts_service@hotmail.com

一般Warp 和Bow 现象的产生原因如下
1. Sapphire Substrate 基片的加工过程中有一个工序叫做滚边或圆边的过程（Edge Profiling 这个叫倒边是于兄在后面的跟帖中给我指正了。）这个工序的安排的主要原因是因避免蓝宝石基片因自身内部的机械应力产生翘曲现象而必须的一个工序。（后于兄指正在蓝宝石衬底片中因其厚度问题和加工工艺问题，这个问题完全可以忽略。但我所考虑的是最终产品如LED 芯片过程中的翘曲问题，后来一想这个问题，完全可以忽略不计，因为本身机械式双端面研磨，其应力作用在同一介质的应力作用下不会产生翘曲，哈哈，在这里再次感谢于兄。）

2. 然后就是我们很关注的一个晶磊过程中，目前还没有找确切的解决方法，但可以用技术调整使其翘曲程度低于0.8mm（这个数字是在后道减薄工序中减薄到75~80um的情况下显现出来的翘曲现象，毕竟蓝宝石衬底最终服务于LED或者其他半导体芯片中，关于这个问题于兄也给我指正了，我没有说明白，在这里向水友道歉）这个产生的主要原因是因在mocvd 晶磊过程中因在不同介质之间的晶微粒排列问题和其具有不同应力而产生的不可避免的应力集中问题。此类问题将可以在减薄过程中得以证实，如果单面减薄的越薄，其翘曲程度越是厉害，因为相对于另一种介质的层的应力相对越大，因此其翘曲程度将大量释放从而翘曲更加严重。这个问题难解决啊。

3. 就是在减薄和研磨过程中的补偿方法了，如现阶段我们进行过试验，如果减薄过程中背面加工中产生的划痕越少，翘曲现象就减少，如果减薄的量越多，芯片厚度越薄，其翘曲越严重。研磨抛光时间也有一点关系，但我还不了解知所以然。所以在这里虚心根各位前辈讨教讨教。

对于翘曲问题说法很多，如 GaAs和 Sapphire 就是两种完全不一样的物理性质。前者比后者产生翘曲的几率远远高于后者。翘曲问题正如于兄说的，非简单的一个设备问题。我同意他的看法，在这里我再次向广大水友道歉，并希望我们中国赶快领先美国，日本，韩国。

在这里献丑了，望理解错误的地方，各位高手多多指教。

作者: Daniel-Yuee 时间: 2009-2-7 19:14
本帖最后由 Daniel-Yuee 于 2009-2-7 19:19 编辑

不明白楼上滚边的意思？应该不是我们通常理解的倒边的意思，如果是的话，那么这个过程是不可能产生什么BOW问题的；
另我说的BOW是蓝宝石加工过程中的，跟MOCVD等后续工艺没有任何关系，作蓝宝石加工的人也无须关心MOCVD，因为那已经是蓝宝石应用方面的事情了，至于后序的问题关系就更远了。

另国内目前能够加工出衬底的公司所采用的研磨抛设备恰恰都是国产的。如果真像楼上所说的采用你们的设备就可以加工出合格蓝宝石衬底的话，我相信您的设备不需要任何的广告。

在衬底领域的加工水平国内落后日美20年，这个我是一直说的，也是事实。但是我们现在有很多跟他们一样的研磨抛的先进设备，但是我们的水平还是落后人家20年。

作者: eddytao 时间: 2009-2-10 14:04
现在发短了不给发，晕死。凑够20个字了不？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2009-5-21 09:23
本帖最后由 Daniel-Yuee 于 2009-5-21 09:25 编辑

翻腾下，国内目前做衬底加工的好像越来越多了啊，

本人提供衬底工艺过程中的部分技术支持，有偿！

比如BOW 等

作者: lp601 时间: 2009-5-30 11:12
蓝宝石加工中设备重要工艺重要，材料和辅料同样重要。有好的设备和工艺没有好的耗材同样不行啊。

作者: lp601 时间: 2009-5-30 11:15
在这里做个广告先：天津晶岭电子材料科技有限公司蓝宝石抛光液为二氧化硅磨料宝石抛光液表面粗糙度小于1.5A 联系人：李鹏 13752220187 邮箱：lipeng820@126.com 有兴趣的可以联系我

作者: Daniel-Yuee 时间: 2009-9-14 22:20
国内有产业话做蓝宝石EPI晶片的吗？

这么多年了，还是没见到啊

作者: wzs1071 时间: 2009-10-26 13:57
谢谢~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

作者: dlzhlq 时间: 2009-12-18 10:10
于老师，巨化现在不生长蓝宝石了？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2009-12-22 12:25
俺不是老师啊，俺都说了，俺现在是股民，没事炒炒股，有事钓钓鱼

停产N年了，可能还会停下去

作者: dlzhlq 时间: 2009-12-24 08:51
唉，真是可惜。现在形势这么好，还不起动？

作者: dlzhlq 时间: 2009-12-24 08:58
修养生息吧，老师，什么时候要爆发，提前通知我啊，一定给您捧场啊。

作者: ccarllos 时间: 2010-1-14 23:56
强烈同意楼主观点，支持中~~

作者: dlzhlq 时间: 2010-2-4 08:43
于老师忙着抱孩子呢，^_^

作者: dlzhlq 时间: 2010-2-4 08:57
于老师，怎么好久看不见了

作者: HITECERA 时间: 2010-3-30 10:37
刚加入，学习中。。。。。

作者: cherrica_zc 时间: 2010-5-6 15:52
楼主、兄弟们好~~~
我们是江苏一家专门做抛光液、研磨液的，对于蓝宝石衬材加工有兴趣可以交流一下。
0513-88965238

作者: xwpxwf 时间: 2010-5-22 14:58
好久不见！上来看看，于老师好久不出现了！忙啥呢？

作者: 高佑君 时间: 2011-1-7 10:00
哈哈，大家都很关系于先生呢。搞好技术了就好了

作者: kongxincaicai 时间: 2011-1-8 18:48
呵呵，我2005年就得知，江苏苏州有不少做蓝宝石加工的呀。

作者: happy99 时间: 2011-1-23 11:22
设备是前提，工艺师是关键！

作者: tudi3690 时间: 2011-2-12 13:56
有做蓝宝石切片的吗 ,请联系我 tudi3690@sohu.com

作者: andycu 时间: 2011-8-24 20:34

作者: gysjlt 时间: 2012-2-8 12:00
我公司生产蓝宝石切片用金刚石线锯，有需要的联系15261628235陆

作者: xiazai001 时间: 2012-2-8 17:07
兴趣很大，欢迎交流经验。

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