光电工程师社区

标题: 连续多室磁控溅射镀膜 [打印本页]

作者: 长风破浪 时间: 2005-10-31 03:22
标题: 连续多室磁控溅射镀膜
这里有没有使用连续多室的磁控溅射镀膜机的高手啊
LEYBOLD或者ULVAC的

作者: zmst 时间: 2005-11-1 03:49
你想了解什么？不过本人不是高手，呵呵

作者: whpe2000 时间: 2005-11-1 18:52
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作者: 长风破浪 时间: 2005-11-2 00:05

楼上的室比我们多啊

不过和我们的一样是立式的吗？

和你们交个朋友啊

chutian613@tom.com

作者: 长风破浪 时间: 2005-11-2 00:09

黑色的是耙材吗?

分子泵还是低温泵

作者: whpe2000 时间: 2005-11-3 00:33
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作者: 长风破浪 时间: 2005-11-4 01:47

13个室

那还是满多啊，做玻璃行业的吗

作者: yh15430 时间: 2005-11-4 18:34

Zuo taiyang neng baomo de ba ?

作者: 飞天狐狸 时间: 2005-11-5 18:51
分子泵+罗茨泵+机械泵

作者: 天涯孤星 时间: 2005-11-9 16:18
这个主要是做什么的，能说下吗

作者: 长风破浪 时间: 2005-11-9 21:04

目前连续的磁控应该主要在ITO和各种玻璃行业吧

作者: lcm5732 时间: 2007-7-24 22:26
楼主说的是不是卧式的连续式磁控溅射啊？对不起，我看不到图片，
我是做磁控的，立式的也有接触过，不过不是高手，呵呵
你那里主要做什么产品啊？

作者: lcm5732 时间: 2007-7-24 22:30
这下看到图片了，好大的家伙，呵呵！
我做的是只有5个腔体的连续式磁控，RP+BP+DP和RP+BP+CP我都有做过，不知道和不和你那里的一样

作者: huangdengpin 时间: 2007-7-25 20:06
标题: 镀膜机
我是搞韩国机的,这种有要小些.

作者: 风之炫彩 时间: 2007-9-2 21:52
ulvac 这种立式的设备倒见过，不过使用在TFT7代以上。

作者: bobo0508 时间: 2007-9-3 08:56
我们公司也是试用莱宝的真空设备，好像比楼上图片的设备要老很多，呵呵！

作者: zzzz 时间: 2007-9-3 09:08
真是好大啊
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作者: 飞天狐狸 时间: 2007-9-7 14:21
设备本身很先进，但是由于设计时费用的缩减，使得功能很局限，也算是一个缺点，有需要交流的support@prochina.com

作者: zinuo009 时间: 2007-9-9 14:40
过隐
大家再发点图片

作者: caodecd 时间: 2007-9-10 13:11
其实磁控溅射主要是靶子设计！现在都采用中频溅射技术镀制介质膜！另外就是分析膜系的作用！来制造设备！所以大小完全根据生产厂家对产品的要求和自身经济情况而定！我们是做设备厂家！光连续镀制L-E，有的厂家只要四层！而最多厂家要17层（可以做双银）！那样的话最大可以达130米左右！目前在国际上就阿登拉和我们做这样的产品！不过别个技术高多了！要不我们一直没有制造出柔性连续镀膜！而大家在这方面输给莱宝！

作者: caodecd 时间: 2007-9-10 13:13
我还是觉得爱发科的产品一般！！

作者: devon.shaw 时间: 2008-2-19 11:40
标题: 请教楼上
阿登拉是哪个国家的？英文名怎么写？
是否有更详细的资料。。

作者: huweiqian 时间: 2008-2-22 12:45
应该是VON ARDENNE吧。

作者: tga 时间: 2008-2-23 11:13
我们公司也有你这个大东东. ITO

作者: 准高手 时间: 2008-2-23 17:14
我们做过一些这方面的工作，可以交流一下。这种设备适合批量化镀膜，适用于较大面积的平面工件。主要应用在ITO、Low－E和TCO等镀膜产品上。平板玻璃行业、平板显示行业应用较多。

作者: huweiqian 时间: 2008-2-26 11:09
看来这里的高手好多啊。其实，现在已经有很多企业采用台湾或者国产的设备在做这类产品了。

作者: zzzz 时间: 2008-2-27 08:42
现在国产的也很多了
主要看要求了
..................

作者: huweiqian 时间: 2008-2-28 10:27
是的，不一定要全套进口，关键部件进口也可以的。

作者: cgliang 时间: 2008-5-29 19:31
4444444444444444444444444444444444444444444444

作者: hill1121 时间: 2008-5-30 17:21
国内组装线还是有差距！！！

作者: sxlavender 时间: 2008-5-30 17:24
各位老大
我们公司正在上薄膜电池生产线（CIGSS），需要溅射设备
现在想比较下莱宝光学和von ardenne公司的溅射设备
各位大侠有它们的说明书或者技术资料等等的
能给小弟发一份吗？
邮箱sxlongsky@hotmail.com
MSN也是这个

谢谢

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