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标题: 有关溅射镀膜的几点问题，一起讨论！！ [打印本页]

作者: 飞天狐狸 时间: 2005-12-1 07:40
标题: 有关溅射镀膜的几点问题，一起讨论！！
1。镀金属膜时，对基片有什么要求？对于玻璃内部的结石和气泡（为对玻璃表面产生影响）是否会影响膜的质量？
2.针孔的形状和针孔产生的原因有什么联系？比如：圆形的针孔和不规则形状的针孔或者大片出现针孔是不是由于不同原因引起的？具体都有哪些因素会引起针孔的出现？

作者: leidiygs 时间: 2005-12-1 19:44

镀金属膜时基片要求表面洁净，无灰尘、油污等。出现针孔的原因:

1、真空室没有彻底清洁

2、检查真空室是否有喷油现象

3、检查靶位水温是否正常。

4、降低膜层的生长速率。

检查以上四点，是否存在问题

作者: 飞天狐狸 时间: 2005-12-5 17:19

谢谢，还有几个问题请教！

1.降低膜层的生长速率是不是就是降低溅射的功率而增加溅射的时间？

2.能否解释一下靶位水温对工艺的影响？

3.喷油现象怎么察看？

作者: leidiygs 时间: 2005-12-6 17:39

1.降低膜层的生长速率就是降低靶电源的功率，增加溅射的时间是增加膜层的厚度。

2.靶水温高时出现的问题：a、靶材容易变形损坏、b、靶表面功率密度很难调整到正常镀膜要求

3.喷油现象可观察工件表面是否有黑点等

请指教，请问你是用什么靶材，做什么产品的

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