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标题: 哥哥姐姐帮帮偶阿！有关sio2 [打印本页]

作者: wang561117 时间: 2005-12-2 19:05
标题: 哥哥姐姐帮帮偶阿！有关sio2
坛子里的哥哥姐姐们，我现在在做sio2薄膜。在平板玻璃上镀了一层si 然后镀sio2，用的是北科的磁控溅射仪器，
镀出来的si 有很明显的条纹，象彩虹一样都是半圆形的，我的旋转没有问题阿！这是为什么啊？
还有一个问题阿，我想用付利叶红外光谱检测sio2的配比，有没有可行的办法啊？
谢拉！导师催得紧阿！大家给小妹出出主意阿！
邮箱wanghui19831127·sohu.com
qq；22444340

作者: 风之炫彩 时间: 2005-12-5 05:25

靶材有没有问题，或者是射频源？

偶以前也有这样的问题的。

作者: sanma 时间: 2005-12-8 03:13

是不是蒸发入射角太大，不均匀所致

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