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标题: 哪位知道蒸硅时具体的工艺参数如何? [打印本页]

作者: wangsumei3000 时间: 2005-12-5 17:26
标题: 哪位知道蒸硅时具体的工艺参数如何?

现在想蒸一下硅，可是不知道具体的工艺参数是怎样？
哪位大侠知道用电子束蒸发的方法蒸硅（Si）时，用大多的高压，束流，和灯丝电流，蒸发蒸空至少要多少，
还有焦斑是大点好，还是小点好？怎样调节？谢谢？

作者: molang2003 时间: 2005-12-7 03:31

关于具体那一种膜料的工艺参数的得来，很大程度要看是什么样的镀膜设备.所以,这个问题真不好说!

作者: sanma 时间: 2005-12-8 03:03
不同的设备，会有很大的差距，特别是折射率，国产机折射率要低些。其对真空度，温度和蒸发速率都很敏感。

作者: wangsumei3000 时间: 2005-12-8 05:02
我用的是国产南光550机器。因为以前从来没有做过这种材料，老板也不知道，让我自己摸索。
可是我都不知道该怎样摸索，高压和束流大约是多少，怎样的结果算是比较好！心里一点都没有数！
好麻烦！

作者: lonnyang 时间: 2007-11-12 15:47
工艺是需要慢慢摸索的

作者: shaodong1311 时间: 2007-11-12 18:03
恩,我同意楼上意见... ...

作者: 小技工 时间: 2007-11-27 17:14
使用C坩埚，慢升电流与慢降电流，防止出现起包，另电流大概200－300mA，光斑大点好，折射率要靠自己摸，真空度3×10－3pa以下

作者: coatinger 时间: 2007-12-3 20:43
使用C坩埚，慢升电流与慢降电流，防止出现起包，另电流大概200－300mA，光斑大点好，折射率要靠自己摸，真空度3×10－3pa以下
——————
电流可以再大点。

作者: zzzz 时间: 2007-12-5 11:35
不同的枪不同的电流
这种东西,自己试打打就知道了
可见楼主比较懒

作者: 章钱国 时间: 2008-1-4 03:57
这种机器我做过，与韩国机大致一样的啊。自己试试，如果真的解决不了，再找我

作者: libor 时间: 2008-1-4 12:33
这里有用sputter读摸的么？。。。。。。。。。

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