光电工程师社区

标题: 氧化膜膜厚该如何测量？ [打印本页]

作者: huafei920 时间: 2005-12-21 03:32
标题: 氧化膜膜厚该如何测量？
我在扩散后的硅片上生长一层氧化层，我想测量该氧化层的厚度，请问如何测量？

作者: shr_10 时间: 2005-12-24 00:48

用椭偏仪测。 1769400@163.com

作者: annespring 时间: 2005-12-24 01:21

椭偏仪能测量的最小厚度是多少？

作者: gj19820913 时间: 2005-12-24 04:21
如果是无吸收介质膜，我不知道可不可以用软件对光谱进行模拟计算！

作者: cityu 时间: 2006-4-6 18:33
标题: 使用xps或 sims
香港城市大学深圳研发中心材料微观分析与性能测试专业服务

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M2CTS (Materials Micro-analytical Characterization and Testing Service Laboratory) 是香港城市大学物理与材料科学系下属的科研试验机构。专门从事材料微观测试与性能分析（包括无机材料，有机高分子材料，金属材料，光学材料）以及表面镀膜（PVD,CVD，PIII 等离子注入）。以及其它各种物理和化学性能测试。

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