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标题: 遇到怪事,请高手破解,在此不盛感激 [打印本页]
作者: 宇轩 时间: 2006-1-6 17:00
标题: 遇到怪事,请高手破解,在此不盛感激
用霍耳的离子源且离子源位置不是在正中间,镀IR-CUT,用的是大锅盖型夹具,分有四圈,镀出来的产品指标OK,但是发现123圈的片有点
发蒙,但光洁度还好,然而第4圈的片子没有发蒙挺透亮的,却有很多的点子。猜想会不会是离子源轰击不均匀造成的呢?听一个专家说过离子源能量轰击的越多,那么膜层就会越致密,就会是基片更透亮,反之就会有发蒙。但又有听说是离子源轰击的多才会发蒙的,反之就透亮,透亮原因是散射造成的。但散射这慨念不太了解是什么意思。。。。然而到底是怎么回事呢???????






作者: zjtzzy 时间: 2006-1-6 19:15
离子源的能量太高
作者: 宇轩 时间: 2006-1-7 02:23
可是霍耳源的能量是很小的啊?阁下的意思是降低能量就行了吗,谢谢你的指点
作者: martin1980 时间: 2006-1-7 16:28
这个原因可能很多的,不知你加温多少,离子源阳极电流多少?
我做IR-CUT,可以交流,QQ:28398195。
作者: 宇轩 时间: 2006-1-7 16:49
加温是200度,阳极电流7A
作者: compass 时间: 2006-1-29 20:26
铼宝的典型问题 离子源
作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 12:40


作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:15

作者: ouyuu 时间: 2013-5-6 09:40
离子源分布问题
作者: maray 时间: 2013-6-3 09:48

作者: 强子 时间: 2013-6-3 10:05
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作者: ghtzna 时间: 2013-6-3 14:39
有两个问题
1:外圈与中间发蒙是否和离子源有关 建议保养离子源及调整工艺参数考虑
2:外圈有点子是否和其他有关,比如夹具的清洁度。
作者: lovemannyzhu 时间: 2013-6-5 11:30
发霧的原因是由於散射影響的!
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