光电工程师社区

标题: 遇到怪事,请高手破解,在此不盛感激 [打印本页]

作者: 宇轩    时间: 2006-1-6 17:00
标题: 遇到怪事,请高手破解,在此不盛感激
用霍耳的离子源且离子源位置不是在正中间,镀IR-CUT,用的是大锅盖型夹具,分有四圈,镀出来的产品指标OK,但是发现123圈的片有点
发蒙,但光洁度还好,然而第4圈的片子没有发蒙挺透亮的,却有很多的点子。猜想会不会是离子源轰击不均匀造成的呢?听一个专家说过离子源能量轰击的越多,那么膜层就会越致密,就会是基片更透亮,反之就会有发蒙。但又有听说是离子源轰击的多才会发蒙的,反之就透亮,透亮原因是散射造成的。但散射这慨念不太了解是什么意思。。。。然而到底是怎么回事呢???????

作者: zjtzzy    时间: 2006-1-6 19:15

离子源的能量太高


作者: 宇轩    时间: 2006-1-7 02:23

可是霍耳源的能量是很小的啊?阁下的意思是降低能量就行了吗,谢谢你的指点


作者: martin1980    时间: 2006-1-7 16:28

这个原因可能很多的,不知你加温多少,离子源阳极电流多少?

我做IR-CUT,可以交流,QQ:28398195。


作者: 宇轩    时间: 2006-1-7 16:49
加温是200度,阳极电流7A
作者: compass    时间: 2006-1-29 20:26

铼宝的典型问题 离子源


作者: laoxianccc    时间: 2013-4-27 12:40

作者: 新手求教    时间: 2013-4-28 11:15

作者: ouyuu    时间: 2013-5-6 09:40
离子源分布问题
作者: maray    时间: 2013-6-3 09:48

作者: 强子    时间: 2013-6-3 10:05
我公司竭诚为您提供以下服务,有意请私聊。
1、        膜系设计、优化。
2、        镀膜良率的提升;
3、        镀膜设备的移机、保养、调试、检漏、维修;
4、        清洗工艺的调试与优化;
5、        冷加工工艺调试、设备维护与保养
QQ:2860598589
作者: ghtzna    时间: 2013-6-3 14:39
有两个问题
1:外圈与中间发蒙是否和离子源有关      建议保养离子源及调整工艺参数考虑
2:外圈有点子是否和其他有关,比如夹具的清洁度。  
作者: lovemannyzhu    时间: 2013-6-5 11:30
发霧的原因是由於散射影響的!




欢迎光临 光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/) Powered by Discuz! X3.2