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标题: 关于PECVD镀膜的一个疑惑！！！！ [打印本页]

作者: huafei920 时间: 2006-1-26 10:07
标题: 关于PECVD镀膜的一个疑惑！！！！
在镀膜过程中发现膜的折射率有些偏低，将传送速度增加后，膜的厚度减小，而折射率却增加了。请问，将速度增加，膜厚减小是正常的，但折射率为什么会增加呢？？？？

作者: huweiqian 时间: 2006-2-16 21:59

是卷绕镀膜设备啊？用于做什么产品？还第一次听说．

作者: leidiygs 时间: 2006-2-17 19:40

是不是离子的浓度或是能量发生变化了。一般折射率变化是膜层的结构产生变化了

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