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标题: 片子上的点子？ [打印本页]

作者: lorniale 时间: 2006-2-8 19:31
标题: 片子上的点子？
同一罩镀出来的片子，有些上面有很多小点子，有些则没有。镀的是氧化物材料，离子源辅助?
请高手指教？

作者: lunik 时间: 2006-2-8 21:06
我们也遇到过同类问题！不过镀的有氧化钛

作者: Frey 时间: 2006-2-9 01:29

[B]以下是引用[I]lorniale[/I]在2006-2-8 11:31:00的发言：[/B][BR]同一罩镀出来的片子，有些上面有很多小点子，有些则没有。镀的是氧化物材料，离子源辅助?
请高手指教？

什么机器？
什么材料？
谢谢！

作者: chz321 时间: 2006-2-9 02:42

基片材料是什么，

作者: wazxq 时间: 2006-2-9 04:44

如果同一圈有的有，有的没有，说明清洗有问题，不同圈不一样另当别论

作者: lorniale 时间: 2006-2-9 06:28

就是同一圈的片子，用的也是氧化钛和氧化硅

作者: wazxq 时间: 2006-2-9 20:45
那就考虑清洗问题和夹具是否污染，供参考

作者: mxb010ak47 时间: 2006-2-20 23:15
膜料是否有污染？问题多数出在氧化硅上，更换氧化硅（或换一根新枪灯丝试试看）。

作者: hj_lml 时间: 2006-2-20 23:32
是不是真的哦？可能还有其它膜料引起的吧

作者: lbc 时间: 2006-2-21 03:29

这个问题很好搞定。

作者: lieqizcl 时间: 2006-2-22 00:26

我有个客户(浙江水晶光电)也遇到过这个问题,据他们工程师说主要是SiO2出现的问题,现在他们更换了SiO2问题基本已经解决,,,不知道你们用的是什么膜料?应该是国内的吧!如果有必要你可以电话联系我13661480959

作者: mxb010ak47 时间: 2006-3-8 21:15

好像不同的蒸发速率也会导致出现这种状况，我公司有两台设备就出现类似问题，同样的膜料用在不同的设备上，由于两台设备电子蒸发速率不同，导致一台设备镀出来有问题，而一台则没有，当时也很费解，后来换了不同厂家的sio2（运气好）才解决。

作者: laoxianccc 时间: 2013-4-27 12:33
发表于 2006-3-8 21:15:00 |只看该作者
好像不同的蒸发速率也会导致出现这种状况，我公司有两台设备就出现类似问题，同样的膜料用在不同的设备上，由于两台设备电子蒸发速率不同，导致一台设备镀出来有问题，而一台则没有，当时也很费解，后来换了不同厂家的sio2（运气好）才解决。
自由软件，自由生活
请问用的哪家的SIO2谢谢

作者: 新手求教 时间: 2013-4-28 11:18

作者: LOUYC 时间: 2013-7-20 17:04

作者: ouyuu 时间: 2013-7-20 23:13
楼主说了同一圈的，有的有有的没有。那很明显就是镀膜前发生的问题。
要么是表面没有擦干净，要么就是粗抽的时候灰飞上去的。

麻点有很多原因，
镀膜前的原因：如基板表面没清洗干净，或者镀膜前沾上的灰
镀膜时的原因：比如说材料预熔不好，产生材料的飞溅，
镀膜后的原因：比如说基板表面带静电，破真空时沾上了灰，或者是冷阱回温造成的沾灰

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