光电工程师社区

标题: 论文：APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除等两篇 [打印本页]

作者: 那只虾 时间: 2006-2-11 21:17
标题: 论文：APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除等两篇

（因上网原因，需要者请发信到：aps1104@126.com，2006-12-08）

Leybold机的问题解决还是不容易，希望大家相互认识、共同解决各种报警。
1、APS1104 真空镀膜机等离子源故障诊断与排除.pdf
APS1104 镀膜机的等离子源系统工作时，等离子源加热器TP250 控制单元要在300s 时输出一个确认信号：即电压、电流
分别随控制指令从0V、0A 开始工作至300s 时达到10V（固定值）、220A （可根据工艺要求设定，最大可达250A）。当加热器输出电压、电流与指令相匹配，并达到所设定的工艺参数值时，气体挡板阀打开，氩气与氧气在真空室内混合。由于在阴极与阳极之间加入了直流电压（由TP250 控制单元产生），而产生辉光放电，形成了等离子体。等离子体中的电子在磁场的作用下，在源与基片之间形成均匀的等离子区，等离子体与成膜材料粒子相互碰撞，形成致密的薄膜。加工完成后，等离子源加热器电压、电流输出停止，等待下一次操作。
2、高质量非规整多层膜自动制备的研究.pdf
为解决专门制备DWDM薄膜滤光片的Leybold APS 1104DWDM镀膜机制备包含几十层膜层的非规整膜系存在一定
困难的问题,分析了非规整膜系光控曲线中关键区产生的原因,认为这是触发点位置与非理想环境因素共同作用造成触
发点漂移产生的结果。误差校正功能的实现与监控曲线的走值趋势密切相关,曲线必须存在理论触发点和至少一个拐
点。实验结果表明,采用准规整膜系设计方法能有效避免关键区的危害,同时充分发挥误差校正的功能。利用该镀膜机
在精度、灵敏度和算法等方面的优势,设计出了与其配套的膜系,成功地制备了各种高性能薄膜滤光片。

[此贴子已经被作者于2006-12-8 15:00:42编辑过]

作者: wazxq 时间: 2006-2-15 00:41

第二个没什么用

第一个看起来不错，虾兄你就贴出来吧，呵呵，您老可是为光学薄膜贡献多多啊，要不然你给我传传

作者: hacker 时间: 2006-2-16 18:16

Please mail papers to me. Thanks!

hackerzyd@163.com

作者: 那只虾 时间: 2006-2-18 07:05

资料已发。请查看。

两位怎么对Leybold感兴趣了？

作者: stick 时间: 2006-2-19 00:17

作者: stick 时间: 2006-2-19 00:18

能不能发给我？？？

stick_lz@163.com

作者: eagle1 时间: 2006-2-19 02:44

也请发一份给我.谢谢!

huangyu598@sohu.com

作者: nqh1978 时间: 2006-2-20 16:07
也请你给我发一份吧，我很感兴趣。nqh1978@163.com

作者: windbelll 时间: 2006-2-22 13:28
007lijunjun@163.com thanks!

作者: zzzz 时间: 2006-2-22 17:14

请LZ发一份给我.多谢了.

zl4846@yahoo.com.cn

作者: 宇轩 时间: 2006-2-23 17:01
发一份给我.谢谢!YUXUANFENGQQ.@YAHOO.COM.CN

作者: 那只虾 时间: 2006-3-1 18:42
资料已经发了，请查看信箱。

作者: 终南子 时间: 2006-3-1 19:47

能不能给我发一份

flyinlove7980@163.com 先谢谢了

作者: wangyonglin1980 时间: 2006-3-5 03:58

我对第二个比较感兴趣，请发一份！

email:wangyonglin1980@yahoo.com.cn

作者: dzk999 时间: 2006-3-5 08:26

dzk_sd@126.com

谢谢！

作者: 那只虾 时间: 2006-3-19 20:24
楼上的，文章已发，请查收

作者: gxd_002 时间: 2006-3-20 19:15
gxd6368@163.com
能不能发给我，谢谢！

作者: wls 时间: 2006-3-23 01:09

请楼主也给我发一份,先谢谢啦!szhuier518@126.com

作者: luocunhua 时间: 2006-3-25 21:33
luocunhua@163.com

作者: xpizwj 时间: 2006-4-2 06:59

传份我,好吗?非常感谢!

xpizwj@163.com

作者: 那只虾 时间: 2006-4-24 18:21
楼上的资料已发，请查收

作者: sanma 时间: 2006-5-14 05:35

请给一份

wxm_oplux@163.com

作者: faye119 时间: 2006-5-28 04:59

兄台能不能给我发一份？？？

我玩LEYBOLD三年了。。呵呵。。。正需要啊。。

先谢谢了。。

邮箱：faye7758@163.com

作者: laogun505 时间: 2006-6-12 03:06

给我来一份！谢谢！laogun505@sohu.com

作者: 刘海5911615 时间: 2006-7-4 22:18
下面的还没发了；吧~~顺便给偶也来一份吧~~ haiou163@etang.com

作者: 王李 时间: 2006-7-5 22:40
那只大虾,我也从事莱宝机镀膜,给我也发一份,谢谢!www.wzmok@sina.com.cn

作者: ld318 时间: 2006-7-10 17:45

楼主，能否也给我发一份啊，我公司的APS源老是出问题~！

ld318@sina.com 前面的字母是L，谢谢啊~！

作者: yjvfhp 时间: 2006-7-22 18:11
请也给我一份吧，多谢liujian490901@163.com

作者: 茄子树 时间: 2006-7-23 04:10
能不能给我一份谢谢了 pwxuan@163.com

作者: caodahua 时间: 2006-8-16 21:14
caodahua@tom.com,谢谢

作者: gpx007 时间: 2006-8-17 07:27

gpx007@126.com

请发一份谢谢！！！！！！！

作者: xrmike 时间: 2006-8-19 20:21

发我一份，谢谢虾哥了

xrmike@163.com

作者: 邬剑琳 时间: 2006-8-26 07:15
给我一份把,谢谢拉!nescafe_1125@hotmail.com

作者: dragonlight 时间: 2006-10-5 19:22

谢谢！

作者: mireumbrella 时间: 2006-10-8 05:03

能否发一份给我，ywei2003@sina.com 十分感谢！

作者: viconet 时间: 2006-10-10 16:00

我也需要一份谢谢

vico@o-film.com

作者: dragonlight 时间: 2006-10-11 17:00

谢谢！

作者: liuxiaochen 时间: 2006-11-28 21:27

XCTRUTH@163.COM">LXCTRUTH@163.COM

急需，谢谢楼主！

作者: caodahua 时间: 2006-12-8 17:56
thanks, My Email:caodahua@tom.com

作者: 那只虾 时间: 2006-12-8 23:02
（因事务较多，需要者请发信到：aps1104@126.com，统一发送）谢谢1

作者: 镀膜加游戏 时间: 2007-1-3 23:23
mglyhb@yahoo.com.cn谢谢了！

作者: lasertgt 时间: 2007-1-7 17:14

wulj0476@yahoo.com.cn谢谢了

作者: laosan 时间: 2007-1-12 06:02

请发给我一份,我这里有一台1104.谢谢关照

ccsuntao@163.com

作者: ojake0 时间: 2007-3-16 00:01
xiaoshizhong@hotmail.com 谢谢

作者: 13kate 时间: 2007-3-20 06:02

给我也发一个！！

谢谢了先i3kate@hotmail.com

作者: 凡鸟 时间: 2007-8-17 17:08
标题: 光驰冷镀膜机
各位大虾，有睡能帮小弟介绍下光弛冷镀膜机的配置啊！谢谢小弟公司想买

email: hozpot@163.com

作者: qasy 时间: 2007-8-17 18:46
fengiling@sina.com 谢谢

作者: 云海 时间: 2007-8-19 14:21
Lz给一份谢谢了!!
csag1702163.com

作者: 云海 时间: 2007-8-19 14:22
呵呵不好意思写错了
csag170@163.com

作者: szhvxcy 时间: 2007-8-20 09:54
１１０４是老机子了啊　

作者: wo07102329 时间: 2007-8-22 13:27
标题: 我做莱宝的维护！
谢谢斑竹，我做莱宝的维护，想看看你的文章，请发至：wo07102329zhang@163.com
谢谢！

作者: niechunyang 时间: 2007-8-30 20:52
给我一个呀，万分感激呀，呵呵chunyangge@126.com

作者: happy3635 时间: 2007-9-9 01:19
也请你给我发一份吧，我很感兴趣。happy3635@163.com

作者: tianchengkeji 时间: 2011-6-9 10:06
请LZ发一份给我.多谢了.

1937804@qq。com

作者: yangdaoqi 时间: 2012-4-18 04:08
也请发一份给我.谢谢!

117941368@qq.com

作者: bluntlee 时间: 2012-4-18 21:52
第一份APS的资料给发一份吧，bluntlee@126.com

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)