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标题: [求助]紫外光清洗工艺 [打印本页]

作者: raofengx 时间: 2006-2-14 22:54
标题: [求助]紫外光清洗工艺
坛子里那位大侠接触过紫外光清洗工艺，介绍一下经验，交流一下，我的邮箱raofengx@sina.com或rfx@lida-oe.com.cn

作者: yingquan 时间: 2006-2-15 00:46

谁有可不可以也给我一分，谢谢。我的邮箱yingquan_ma@jinyaco.com.cn

作者: wazxq 时间: 2006-2-15 00:49
紫外光能清洗我还是第一次听说，又没人讲讲原理

作者: raofengx 时间: 2006-2-15 17:23
原理：低压紫外汞灯能同时发射波长254nm和185nm的紫外光，这两种波长的光子能量可以直接打开和切断有机物分子中的共价键，使有机物分子活化，分解成离子、游离态原子、受激分子等。与此同时，185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气（02）分解成臭氧（O3）；而254nm波长的紫外光的光能量能将03分解成O2和活性氧（O），这个光敏氧化反应过程是连续进行的，在这两种短波紫外光的照射下，臭氧会不断的生成和分解，活性氧原子就会不断的生成，而且越来越多，由于活性氧原子（O）有强烈的氧化作用，与活化了的有机物（即碳氢化合物）分子发生氧化反应，生成挥发性气体（如CO2，CO，H2O，NO等）逸出物体表面，从而彻底清除了粘附在物体表面上的有机污染物。

作者: wazxq 时间: 2006-2-16 18:59
受教了~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~

作者: leidiygs 时间: 2006-2-17 19:26
可以用等离子体清洗工艺：不过设备的投资高些，但清洗效果绝对比紫外光好。

作者: xiaoyu 时间: 2006-2-18 00:35
请问等离子清洗的工作原理是什么啊？

作者: leidiygs 时间: 2006-2-19 03:40

等离子清洗应用及原理

一、金属表面去油及清洁

金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

1.1灰化表面有机层

－表面会受到化学轰击（氧下图）

－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出

－紫外辐射破坏污染物

因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

1.2氧化物去除

金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）

这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

1.3焊接

通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

1.4键合

好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

二、等离子刻蚀

在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。

等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

三、刻蚀和灰化

PTFE刻蚀

PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（下图）

等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。

PTFE混合物的刻蚀

PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。

处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。

· 不需要用溶剂进行预处理

· 所有的塑料都能应用

· 具有环保意义

· 占用很小工作空间

· 成本低廉

等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF₄等

五、等离子涂镀聚合

在涂镀中两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下汇聚合。这种应用比活化和清洁的要求要严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似PTFE材质的涂镀、防水涂镀等。涂镀层非常薄，通常为几个微米，此时表面的亲和力非常好。常用的有3种情况

· 防水涂镀—环己物

· 类似PTFE材质的涂镀---含氟处理气体

· 亲水涂镀---乙烯醋酸

作者: raofengx 时间: 2006-2-20 17:08

楼上的朋友：一台等离子清洗机大约需要多少money?

作者: wazxq 时间: 2006-2-20 17:43

光博会上看的是几万块钱，和微波炉形状差不多

作者: leidiygs 时间: 2006-2-20 21:09

价格在10万人民币左右

作者: raofengx 时间: 2006-2-21 17:36

10万人民币不算贵呀，我们用超声波清洗机一台大约要20-30万人民币，

不知等离子体清洗用在光学零件生产上工艺是否成熟？

请教各位，与镀膜机上的离子源原理一样吗？

作者: leidiygs 时间: 2006-2-21 21:49

目前在太阳能领域、光通讯领域应用比较广泛。该技术可以光学零件生产上应用镀膜前清洗工艺，缺点是污染层不能太厚。与镀膜机上的离子源比较其离子的浓度和离子的能量要高出数倍。

作者: killjackson 时间: 2006-2-23 00:03
离子清洗是不错啊!换个思维,可几种方法组合运用的.

作者: nagayama 时间: 2006-2-24 00:07

我们公司总部已经使用了一年,应用镀膜前清洗工艺,要说缺点那就是光学零件表面清洗的太干净!以至于紫外光清洗以后表面不能在碰任何东西!!

作者: raofengx 时间: 2006-2-24 00:22

15楼的朋友：能介绍一下经验吗，或者告知你的联系方式?

我的邮箱：raofengx@sina.com或rfx@lida-oe.com.cn

联系电话：0377-63865170 小饶

作者: mxb010ak47 时间: 2006-2-25 21:13

nagayama能否介绍一下经验？

我的邮箱：engdbnof@yahoo.com

能否告知联系方式？

谢谢！

作者: leidiygs 时间: 2006-4-5 06:44

等离子清洗机应用

一、金属表面去油及清洁

　　金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：

1.1灰化表面有机层

　　－表面会受到化学轰击（氧下图）

　　－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发

　　－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出

　　－紫外辐射破坏污染物

　　因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。

1.2氧化物去除

　　金属氧化物会与处理气体发生化学反应（下图）

　　这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

1.3焊接

　　通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。

1.4键合

　　好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

二、等离子刻蚀

　　在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。

　　等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

三、刻蚀和灰化

PTFE刻蚀

　　PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（下图）
　　　　　

等离子结构可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样塑料就能够进行粘合、印刷操作。
　　　　　
PTFE混合物的刻蚀

　　PTFE混合物的刻蚀必须十分仔细地进行，以免填充物被过度暴露，从而削弱粘合力。
　　　　　

　　处理气体可以是氧气、氢气和氩气。可以应用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洁

　　塑料、玻璃、陶瓷与聚丙烯、PTFE一样是没有极性的，因此这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理。同时，玻璃和陶瓷表面的轻微金属污染也可以用等离子方法清洁。等离子处理与灼烧处理相比不会损害样品。同时还可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有毒烟气，中空和带缝隙的样品也可以处理。

　　· 不需要用溶剂进行预处理

　　· 所有的塑料都能应用

　　· 具有环保意义

　　· 占用很小工作空间

　　· 成本低廉

　　等离子表面处理的效果可以简单地用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。长时间的等离子处理（大于15分钟），材料表面不但被活化还会被刻蚀，刻蚀表面具有最大润湿能力。常用的处理气体为：空气、氧气、氩气、氩氢混合气体。请大家帮忙推荐！ljh100123100123@163.com

作者: wisbay 时间: 2010-7-7 13:15
国内已有紫外臭氧清洗机的代理商，美国NOVASCAN PSD系列的，用的就是紫外臭氧清洗原理，大家有需要了解的可以和我交流 powell.li@wisbay.cn

作者: stone_zheng 时间: 2010-9-9 12:15
UV Cleaner
作用：清洗玻璃表面有机物Particle
原理：通过UV光或Plasma将有机物分子链分解，然后配合溶剂、水洗、二流体及风刀清洗将产品表面有机物去除
常见有以下类型：
- UV灯管照射
- Plasma电极发生
第二种清洗能力强些，但需要注意的是UV光在空气中传播距离很短，需要在UV光源至机体间通入N2以延长UV光存活时间。

资料的话，我有，但是大部分保密，我可以整理一下，去除相关logo相送。

作者: gb936 时间: 2010-9-15 10:40
干式清洗法，记号

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