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标题: 熔融硅爆溅了, 帮忙啊! [打印本页]

作者: frankmj99 时间: 2006-2-27 08:29
标题: 熔融硅爆溅了, 帮忙啊!
请教各位高手: 电子枪镀硅膜, 在预熔时(用大的电子斑束), 熔融硅经常爆溅, 请问有何高见赐教? 所用硅的纯净度是五个九.

作者: martin1980 时间: 2006-2-27 15:54
是否电子束流加的太大所至？

作者: grf1226 时间: 2006-2-27 18:29
预熔的硅料是新添加的还是有上一炉留下的，一般上一炉熔过的硅料再熔的话比较容易飞溅。另外，熔过的硅料发黄或发黑就说明电子枪功率过大了，电子枪功率过大理所当然会造成飞溅。

作者: frankmj99 时间: 2006-2-28 16:58
多谢高人指点! 请问9.5千伏高压是一个问题么?
硅熔块通常被反复使用,色泽发灰, 每次蒸发后都补充少量. 电子枪高压9.5千伏. 硅熔块直接置于水冷坩锅中.

作者: grf1226 时间: 2006-3-1 01:32

不妨试试每次将硅熔块去掉，只留下没有熔结的硅粒，当然，不怕材料浪费的话就全部换掉好了！电子枪9.5千伏高压不会是问题原因，重要的是电子枪功率不要增加得太快。

作者: 九门 时间: 2006-3-2 09:24

高压也有点影响吧,光斑会太强

作者: frankmj99 时间: 2006-3-2 20:58
得到很有意义的建议,谢谢各位高手啦! 再传,用钼, 钨坩锅作衬底有帮助, 是不是这样?

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