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标题: 求助：磁控溅射靶加不上功率的原因 [打印本页]

作者: 飞天狐狸 时间: 2006-3-22 21:41
标题: 求助：磁控溅射靶加不上功率的原因
请大家帮助分析一下靶材功率（电压、电流）加不上的原因！谢谢

作者: 风之炫彩 时间: 2006-3-22 21:52

电源？

作者: 飞天狐狸 时间: 2006-3-22 22:20

应该不是电源的问题，只是靶材电压不稳定，总报警，然后自动停。。。。

作者: zhangyi00102052 时间: 2006-3-23 22:18
检查靶阴极的绝缘问题

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-23 23:11

你用的是矩形靶还是圆形靶？

靶材是什么？

很大的可能性是阳极和阴极短路。

作者: 飞天狐狸 时间: 2006-3-23 23:17
我们也认为是靶材短路的问题，可是更换靶材以及挡板，用电子表量的话也没有问题，现在又出现真空抽不上的问题，不知道是不是有联系？

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-23 23:22
不知道你们用的是什么镀膜机，我以前做过得也出现过这样的现象，最后查到是冷却水的管道有漏水了，它导致短路发生，不知道能不能对你有所帮助。

作者: zhangyi00102052 时间: 2006-3-24 22:27
抽不上去是漏水了，没装好

作者: tianxia 时间: 2006-3-25 00:19

拿摇表打，2000V的，先慢速

作者: 零点910 时间: 2006-3-25 02:47
靶材短路或者电源配电方面有问题

作者: 飞天狐狸 时间: 2006-3-25 17:47
我们怀疑是冷却水漏水引起的短路和抽不上真空的问题，后来更换了密封圈，烘干，然后没有上靶，只是抽真空，还是抽不上去，现在以停机，等待莱宝技术人员来查。。。。

作者: 楼阁情丝雨 时间: 2006-3-26 16:44

这种现象有很多原因，希望说的清楚一点，这样大家可以一起帮你分析。

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