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标题: 镀CR 不能蒸镀上去的原因请教 [打印本页]

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-23 23:17
标题: 镀CR 不能蒸镀上去的原因请教
小弟最近有一个问题请教，我用钼舟蒸镀CR，抽到高真空以后，充入氩气，工作真空度5.0E -1 Pa(工艺条件需要），材料加到适量，基板是K9玻璃，但是几次实验下来，基板上面没有镀上CR，故此请教各位。

作者: zzzz 时间: 2006-3-24 16:30

CR没蒸上去贝

CR是否熔化蒸发?

作者: snebur 时间: 2006-3-24 17:27
Cr充入氩气，工作真空度5.0E -1 Pa是否充气太多了！把蒸发起来的CR抽掉了！如果不抽掉的话，很难一点也没有蒸发到极板上！

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-25 01:31
有谁在这个工作真空度5.0E -1 Pa 下,镀过CR呀?

作者: yin99 时间: 2006-3-25 19:09
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作者: luocunhua 时间: 2006-3-25 21:30
我想也是真空度太低了。你应该少充点氩气看看。

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-27 15:57

谢谢各位大侠！我的本意是想要产生一种扩散斑，看来在低真空度下好像是有难度了。

作者: zzzz 时间: 2006-3-28 00:49
扩散斑,有意思,说来听听.

作者: 天涯孤星 时间: 2006-3-29 17:54

我不知你充氩气的目的是什么？

蒸镀Cr，只要抽到高真空应该没问题，如果再镀不上，是不是需要对你的基材进行清洗

作者: yaoaohua80 时间: 2006-3-29 22:06

我充氩气是为了让CR在低真空蒸镀可以扩散。还有就是不会象氧气一样会引起什么反应。

作者: xcy1075 时间: 2006-3-31 18:55
扩散斑,有意思,说来听听.

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