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标题: 奇了！！透光看光洁度OK，反光看镀膜产生的亮点N多怎么回事？ [打印本页]

作者: cswtct 时间: 2006-4-10 23:35
标题: 奇了！！透光看光洁度OK，反光看镀膜产生的亮点N多怎么回事？
镀膜面透光检验光洁度20-10，在50倍显微镜下反光检验有非常多的亮点，搞不懂是怎么产生的。哪位同仁有过这样的经验的给点意见呀？先谢谢了。

作者: killjackson 时间: 2006-4-11 03:50

产生反应了!

作者: martin1980 时间: 2006-4-11 16:01
20-10怎么检验的想知道?

作者: chugqchugq 时间: 2006-4-11 17:15
反射对比度大，能看到点子。

作者: cswtct 时间: 2006-4-11 19:27

可是同样是点子为什么有的点子反射观察与透光观察不一样呢？

还有这种类型的点子是怎么产生的，反光看有点像脱落的点子。

作者: cswtct 时间: 2006-4-11 19:57
如果是产生反应是什么和什么反应的呢，我们基片为LN，镀膜膜料为五氧化二钽和二氧化硅。

作者: renajin 时间: 2006-4-12 17:47

我们公司也是啊

作者: ken8447 时间: 2006-4-12 19:13

个人分析原因有以下几个：1、由于镀膜材料或镀膜设备所造成的蒸发不稳定，

2、镀膜材料有杂质，3、腔体内有异物，在镀膜过程中产生碰撞，使镀膜线路发生变化。

但控制非常难。

作者: lunik 时间: 2006-4-14 00:32
我们也有同样的问题，谢谢8楼的兄弟。

作者: zzzz 时间: 2006-4-17 19:06
这不就是一些没有镀上膜的点吗

作者: yari1225 时间: 2006-4-19 17:38
可能是蒸发速率太快了吧

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