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标题: 为何我们需要高精度的薄膜量测？ [打印本页]
作者: shuggad    时间: 2006-4-11 02:28
标题: 为何我们需要高精度的薄膜量测？
在OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等行业中，薄膜测量是检验产品质量的高科技手段之一。而美国SCI 公司最新开发并研究出了世界顶级高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品。它的主要性能简单的说就是可测参数比一般薄膜量测多，并且安全可靠，容易装配，在现有的设备上可自由添加这种配置，方便更新。其中它得可测参数有：
1）单层或多层薄膜(可达50层)，厚度 （1? to 250 um)
2）反射率R和透射率T
3）折射率n和吸收系数k
4）能带间隙
5）表面粗糙度和损伤度
6）成份和结晶程度
与了解详情请用一下方式联系：EMD (半导体设备与材料部)
电话：021-61021225 传真：021-52353710
E-mail: emdservice@ChinaECNet.com
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