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标题: 请问正常情况下，晶控片能达到多少层膜？ [打印本页]

作者: wjf01041527 时间: 2006-5-9 00:18
标题: 请问正常情况下，晶控片能达到多少层膜？
请问：
   分别用INFICON和MAXTEK两种晶片镀SiO2膜，正常情况下，达到多少层比较合适？
   （我们现在用的INFICON的可以达到70层左右。）
   请高手指点一下？

作者: martin1980 时间: 2006-5-9 16:04
这个可能要看具体每层膜的厚度吧!

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