光电工程师社区

标题: [讨论]波面干涉仪的作用究竟多大？ [打印本页]

作者: chuyuren 时间: 2006-5-16 07:08
标题: [讨论]波面干涉仪的作用究竟多大？
这里好像人气还不错。下面是我对干涉仪的一个疑惑，请教大家了。就我所知，干涉仪只能测量相对面形，即实际面形相对参考面形（平面或球面或补偿器产生的理想非球面等）的相位差，但是测量的目的是要获得实际面形相对理想面形的偏差，这也是实际加工中需要的，如何从干涉仪的测量数据中解算需要的误差信息？例如球面干涉仪测量低陡度非球面时，得到的是相对于某个未知参考球面的偏差，怎样转化成相对理想非球面的偏差？用补偿器测量同样有问题，补偿器产生的波前是参考，但是它受到倾斜离焦等的影响，也未必就是理想非球面波前。可能有某些算法（例如优化）解决这个问题，但是我对其有效性持怀疑态度，因为干涉仪的本质是相对测量。

作者: 河边草 时间: 2006-5-21 04:35

找一下绝对检验技术的资料吧，在理论上已经解决了你的问题。当然实现起来十分的困难。

另外，非球面的测量是世界难题哟。

我们不能指望干涉仪解决所有问题，事实上在相当高的一个精度上，如10纳米左右，干涉仪是十分有效的，大概也是唯一大家都可以用的起的检测手段。

作者: casix 时间: 2006-5-22 22:58
要说作用有多大，要看你的需求有多紧迫。飞机的作用有多大？如果从上海到纽约...，如果从上海到南京....。

作者: aihua1675 时间: 2006-5-23 16:36

什么是绝对检测，检测都是一个参考测量

作者: chuyuren 时间: 2006-5-29 07:02

可能问题没说清楚？楼上的回答有些高深莫测。干涉仪的绝对检测(absolute test)指的是可分离参考波面误差的，例如三镜测试，不是我所指的绝对检测（实际上当然还是相对的）。我的目的就是要请教，干涉仪能不能准确测得实际波面相对理想非球面的高度差（法向也好，Z向也好）？谁能保证？

作者: gerh 时间: 2006-6-7 22:28

用干涉仪可以进行三板绝对测量

作者: leonnow100 时间: 2006-6-11 23:25
绝对检测在生产加工方面不怎么用得上哦

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)