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标题: 厚度精确测量 [打印本页]

作者: casix 时间: 2006-5-22 22:51
标题: 厚度精确测量

加工10mm*10mm的平行平片，厚度0.3+/-0.0005mm（镀膜后的厚度），厚度如何精确测量？

作者: piaopiao 时间: 2006-5-23 16:46
可以采用SWS系统扫描曲线从而转换成厚度。SWS的精度很高的。

作者: alittle 时间: 2006-5-24 15:52

请教：1、什么SWS系统啊？

2、这种厚度要求的平行平片加工中用何种工艺生产呢？0.0005mm已是光波长级别啦!

谢谢!

作者: casix 时间: 2006-5-24 22:16
如果镀了增透膜的话，表面的反射率太低，用SWS扫描应该不会有波形曲线

作者: opticlin7 时间: 2006-5-26 01:15

可以用NIKON测厚仪

作者: guojianzhong 时间: 2006-5-26 18:15

用三丰的ＬＩＴＥＭＡＴＩＣ高精度测厚仪，精度０.００００１mm，就是有点贵，四万多

作者: casix 时间: 2006-5-27 22:51
这些测厚仪的精度好像都只是显示值，实际测量精度都不够

作者: leonnow100 时间: 2006-6-11 23:16
用Nikon的高度尺，可以独到1/10万mm。我们现在就用这种。

作者: yjs123456 时间: 2006-6-12 20:16

NIKON的高度尺,什么价格

作者: 一塌糊涂 时间: 2006-6-16 23:35

有一种很古老的设备，迈克耳逊干涉仪，价格好像还不是很贵，比楼上的说的便宜多了

作者: weijiatao006 时间: 2007-10-5 15:56
Nikon的高度尺，真的能读到1/10万mm，他的原理是什么

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