光电工程师社区
标题:
尾气处理
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作者:
huweiqian
时间:
2006-6-6 01:06
标题:
尾气处理
有个朋友准备用PECVD设备在红外材料(ZnSe)镀硬膜,但是现在对于尾气的处理不是很清楚,不知哪位高手可以帮忙指点一下.谢谢.
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