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标题: 尾气处理 [打印本页]

作者: huweiqian    时间: 2006-6-6 01:06
标题: 尾气处理

有个朋友准备用PECVD设备在红外材料(ZnSe)镀硬膜,但是现在对于尾气的处理不是很清楚,不知哪位高手可以帮忙指点一下.谢谢.






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