光电工程师社区

标题: 膜层厚度不均匀~帮帮手 [打印本页]

作者: kjmvivian    时间: 2006-6-20 07:43
标题: 膜层厚度不均匀~帮帮手

本人用的是ZZ550X真空镀膜机,第一代`我镀膜的时候出现膜层不均匀~大概是一边紫红多点`有30%会变成蓝色`就是比紫红厚镀厚了点的颜色~~~~时候有开工转有轰击,真空度2。5乘10负3Pa。。不知道是怎么回事希望,有人帮我说说原因~回复可以邮件48280612 @163.com

感激不尽


作者: 刘海5911615    时间: 2006-6-22 07:27
好像是因为靶材打火的原因吧~~~电压稳定么?~~
作者: kjmvivian    时间: 2006-6-23 02:09
稳定的~
作者: zzzz    时间: 2006-6-26 17:11

修正板变形了吧

每次都这样?还是偶然性?


作者: kjmvivian    时间: 2006-7-2 19:43
没有那东西修正板,,偶然~可能我自己问题,工转的快慢有影响么~?我们用的是蒸镀。。???????
作者: 超越    时间: 2006-7-3 06:11

均匀性没修好咯,


作者: zzzz    时间: 2006-7-3 16:14

工转快慢当然会影响均匀性了


作者: liuhai5911615    时间: 2006-7-4 21:46
也许是因为电压不稳定~~~打火造成的~~
作者: kkuklx    时间: 2006-7-5 03:07

气室是否漏气呢?


作者: kjmvivian    时间: 2006-7-10 05:52

你们的意见不错`好了`这嗰应该解决了~工转问题`漏气真空计会显示的`不到显示的数据,我不会镀的`

多谢各位


作者: zzzz    时间: 2006-7-10 16:55

幸好没有误导你

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