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标题: [求助]薄膜表面出现散射 [打印本页]

作者: few 时间: 2006-7-7 21:58
标题: [求助]薄膜表面出现散射

最近開始製作IR CUT但是發現玻璃表面幾乎都是"霧面",好像是薄膜表面出现散射

請教各位高手是否能給小弟一些意見

作者: zzzz 时间: 2006-7-7 23:59

TIO2料吧

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作者: buwzh 时间: 2006-7-8 19:23

原材料研磨抛光的问题

作者: few 时间: 2006-7-9 00:42

可是原材是德國SCHOTT D263T應該不會有這樣的問題吧

我是懷疑會不會是SiO2

但也有人說是通氧量的問題

作者: zzzz 时间: 2006-7-10 17:04

D263T是薄片吧

这种材料挺有意思的.

作者: huhu 时间: 2006-7-11 05:22

先试试调整通氧参数以及开门时间。如还有问题，再一起交流。

作者: hydralisk-1 时间: 2006-7-12 10:06
表面发雾，很大可能是TIO2材料的晶化造成的。晶化的主要原因是温度，你可以试着从这方面入手

作者: kuan 时间: 2006-7-13 00:04
I think the reason is Tio2

作者: few 时间: 2006-7-14 20:54

基材 D263T 鍍膜機靶材 SiO2 NbO5 鍍膜機Shincron-RAS1100濺鍍機

原始參數:IR厚度3.8um(34 Layers) Ar 150sccm ; O2 85sccm 霧面

做了幾個小實驗

1. 鍍單層SiO2(1.9nm)+單層NbO5(1.9um) 無霧面

2. IR635厚度3.8um(61 Layers) 霧面(但有少數幾片霧面情況改善)

3. IR厚度3.8um(34 Layers) Ar 120sccm; O2 80sccm 霧面

發現跟基材應該應該無關,也不知道是不是溫度造成

請各位大大指教

作者: tianxia 时间: 2006-7-15 18:52
Shincron-RAS1100，目前国内南阳利达有，最好的镀膜机，出现这样的事情，找日本人解决，不行让他们赔损失

作者: cchingoo 时间: 2006-7-15 23:59

34 Layer膜層設計與鍍膜參數會非常重要

作者: huhu 时间: 2006-7-16 05:39

对你这个问题挺感兴趣。

你说的雾面是不是对着检测灯光看有一层均匀的发白现象（整个面发蒙）。

你给的参数不足，如果可以你话，就补足吧，我比较一下。（速率，氧流量，power，...）

1. 鍍單層SiO2(1.9μm)+單層Nb2O5(1.9μm) 無霧面（修改了一下）

（这个试验也做，佩服～）

作者: few 时间: 2006-7-19 16:48

霧面的確是整面均勻發白現象

Ar 150sccm ; O2 85sccmower 3500W

已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T

作者: ic5 时间: 2006-7-19 17:10

材料的结晶化是比较头痛的事。

你试着从温度，Power方面做做看！这就是工艺，就得自己摸索！

作者: WUXIAOTIAN 时间: 2006-7-19 19:27

发雾有多方面的原因。

表面研磨质量、温度、沉积压力、沉积速率不当都可能会造成镜面发雾。

建议改变一下溅射压力看看。

作者: huhu 时间: 2006-7-22 04:41

[B]以下是引用[I]few[/I]在2006-7-19 8:48:00的发言：[/B][BR]p霧面的確是整面均勻發白現象/ppAr 150sccm ; O2 85sccm ; Power 3500W/pp已經想不出有什麼實驗可以證實了 T___T/p

感觉还是要重点考虑清洗的影响。

如果可能的话，用人工擦拭几片基板，用同样的工艺，看结果怎么样。

（基板较大的话，人工擦拭可能有点难度，^_^）

作者: eagle1 时间: 2006-7-23 00:00

这样的事情非常头疼。你在镀制的时候可以考虑放进k9玻璃进去。这样能够排除玻璃的问题。

作者: few 时间: 2006-7-27 00:05

我有試過以鹼性洗劑擦拭表面

可是鍍出來好像也沒有任何改善的跡象

真是惱人的霧面 -.-"

作者: huhu 时间: 2006-7-27 04:21

单纯用无水乙醇＋无水乙醚擦拭基片，不要用其他洗剂。

以前用电子枪的时候发生过“发雾”现象，现在用溅射，还没发生。

密切关注中～

作者: killjackson 时间: 2006-8-11 22:26

19楼的HUHU老兄,

我用电子枪镀MgF2的时候发生“发雾”现象,能不能给我解惑呢？是什么原因，怎样解决？

多谢了！

我的邮箱和电话：13085161950@hb165.com

作者: xpizwj 时间: 2006-8-12 18:34

密切关注镀膜中的“发雾”现象。

作者: chenchen 时间: 2006-8-13 00:16

发雾的主因还是材料的结晶化，改善溅射条件能够达到一定的效果。在厂商的技术交流会上对此问题作过一些探讨，可以作为参考。

作者: huhu 时间: 2006-8-27 02:55

不知道Few老兄是否已经解决了“发雾”问题。

20楼killjackson老兄：

很抱歉，以前我只是在尺寸较小的基板上大量使用过MgF2，当时没有出现过表面发雾的情况。

我猜除了基板表面洁净度，材料结晶化以外，可能还要考虑一下MgO的作用。

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