光电工程师社区

标题: 坛子里有谁在做新科龙的RAS机的？ [打印本页]

作者: hydralisk-1 时间: 2006-7-12 10:04
标题: 坛子里有谁在做新科龙的RAS机的？

小弟目前负责RAS技术开发一块。已有近半年经验。想结识几位也做RAS的朋友一起探讨问题（当然不牵涉到公司机密了^^）。问题可以是和RAS相关的任何方面。请有实际经验的高手不吝赐教！最好在贴下能提些和RAS有关的问题，大家一起探讨一下。小弟也定当尽力。

作者: mzxnhgs 时间: 2006-7-14 07:17

RAS 看你要做什么样的产品

其实我觉得它并不好用，有其缺陷

作者: ic5 时间: 2006-7-14 15:40

2楼，说说其缺陷！

我没有接触过RAS，但听说过其产能大！

请有经验的大侠谈谈其优点和缺点！

作者: WUXIAOTIAN 时间: 2006-7-18 01:01

感觉该机器的加工后particle对策比较麻烦。护板清洁也不太方便.产能还可以，有两个腔，类似于该公司的CES-343（该机有三个腔）

作者: ycxmy 时间: 2006-7-18 07:39
其靶材的寿命和圴匀性的调整如何解决？

作者: chenchen 时间: 2006-7-30 00:00

ras产能比相同口径的镀膜机大了1倍多，镀膜前的排气时间比较短，但是溅射速率比较慢，所以对一个比较厚的薄膜可能总的镀膜时间可能比电子束蒸发镀膜机慢。镀膜性能是相当好的。外观主要是点状膜破裂点问题，可在高倍光学显微镜下观察，定期的设备清洁可以解决该类问题。当然还有其他的外观问题，需要对症下药。解决后表面质量可以是好的。靶材的均匀性修正需要打开溅射腔体，调整的时间不长，但恢复到正常生产需要的排气、处理、试验过程时间较长。夹具制作的费用较高。

作者: raofengx 时间: 2006-7-31 17:02
产能肯定大，一般的蒸镀机零件都套在锅上，ＲＡＳ机，零件套在类似水桶的外壁上，装载量大

作者: buwzh 时间: 2006-8-5 18:45

镀率0.35NM/S,一次性可镀111片135*71MM的玻璃

作者: YAOCS633 时间: 2006-8-8 21:03

8樓的同志,你是delta的吧.

作者: roi211 时间: 2007-3-23 15:57

你负责哪的RAS设备啊?我也想去,呵呵,RAS 镀膜 1000NM厚大概要1个小时,你说他好不好,耙材使用到一定寿命后均匀性可能会不好,我们都是把均匀性不好的那一条挡住不装

作者: ic5 时间: 2007-3-24 00:39

RAS沉积速率应该和电子枪的差距不大。

关于耙材肯定很贵了，不知道谁有高招，解决耙材的利用率问题？

还有，RAS对镀高低材料的混合膜，不知道效果怎么样？

作者: wazxq 时间: 2007-3-27 05:42
Ras有自己的大问题的，他的设计师刚刚做好就离开了公司

作者: ycxmy 时间: 2007-3-27 23:29
楼上所讲是指做倾斜膜的吧。

作者: huweiqian 时间: 2007-4-17 22:27
wazxq斑竹真厉害，连人员的变化都清楚啊．听说现在ＯＰＴＯＲＵＮ也在开发溅射设备，不过听说不怎么成功．本来ＯＰＴＯＲＵＮ准备用ＲＯＴＡＴＡＢＬＥ靶来提高靶材的利用率，至于什么原因而没有成功，不知道斑竹知道吗？能否透露一下？ＲＡＳ设备的优点估计使用ＲＡＳ的人都很清楚，我觉得ＲＡＳ的一大缺点就是装小的镀膜片很难．

欢迎光临光电工程师社区 (http://bbs.oecr.com/)