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标题: [讨论]短波光学 [打印本页]

作者: light_all 时间: 2006-7-18 17:02
标题: [讨论]短波光学
短波光学：VUV，EUV，Soft X-Ray，是下一代光刻技术的主要光源，其它应用也很多，国内搞这方面的单位和水平不知道怎样？

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