光电工程师社区

标题: 求教 [打印本页]

作者: johnny5277 时间: 2006-8-11 16:36
标题: 求教

请教一个问题

为什么我蒸镀SiO时，膜厚监视仪显示的变动总是非常小，一般不超过4% ？

作者: 王李 时间: 2006-8-11 17:04

你的监控片是否为K9片?

作者: yh15430 时间: 2006-8-12 01:55
监控片的折射率接近镀膜材料的可能性大。

作者: xiaozhou 时间: 2006-8-12 04:47

可在监控片上先镀一个极值的高折射率膜料

作者: johnny5277 时间: 2006-8-12 19:53

楼上几位的意思是不是监控片的折射率如果和镀膜材料接近的话

就会出现我说的这样现象？？

ps:本人菜鸟，还望各位多多指点

作者: yjvfhp 时间: 2006-8-21 05:32
用反射光控制就可以了

作者: dinghaiyi 时间: 2006-8-21 21:28

基片的折射率大于膜层的折射率时，可以先镀一层折射率大于基底折射率的膜层。

也可以增加增益来放大显示范围。

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