光电工程师社区

标题: 求教? [打印本页]

作者: fenghao_0220    时间: 2006-8-12 00:36
标题: 求教?
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[size=1[B]][我用的是国产镀膜机,镀出来的分光镜透过率从内圈到外圈依次变低!温度280℃ ;膜料Tio2和Sio2;真空度
3.0×10-2Pa;]请问各位高手这是咋整啊?有解决方法吗?[/B]


作者: yh15430    时间: 2006-8-12 01:52
TiO2吸收的可能较大,真空室内成膜面积超过均匀区。
作者: martin1980    时间: 2006-8-12 03:12
想知道具体透过率差多少呢?
作者: xiaozhou    时间: 2006-8-12 04:53
主要是因为内圈和外圈的温度有差异造成
作者: fenghao_0220    时间: 2006-8-14 21:14

把TIO2更换成TI3O5能解决均匀性问题吗?保温时间加长行吗?


作者: raofengx    时间: 2006-8-15 00:14
可以用表面温度计测量一下从内圈到外圈的温度分布情况




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