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标题: Al膜问题，紧急求教~！ [打印本页]

作者: johnny5277 时间: 2006-9-21 17:04
标题: Al膜问题，紧急求教~！

我们公司是用电阻加热的方式镀铝的

最近出现个奇怪的事情。自从我换了台镀膜设备后（之前用的真空泵出问题了）镀出的铝莫极其不牢固

用指甲划一下就会脱落。其他的参数都没变（10—2以后开始镀膜）就算把温度提高到250也没改善。另外用这台设备镀银的效果就更差了，用手抹一下膜就没了。

因为之前的那台设备没出现过这样的问题，请问各位大虾是设备的原因还是其他的因素造成这种情况的？？

作者: kuan 时间: 2006-9-21 17:30

大大, 镀AL可以加热吗?

作者: johnny5277 时间: 2006-9-22 17:23

本人完全的新手，至于加热的话是设备供应商给的意见

作者: zzzz 时间: 2006-9-22 21:40

原来的工艺加热吗?

基片清洁情况如何?

真空再高些

作者: liuhai5911615 时间: 2006-9-25 03:43
看看电流电压有什么变化~~~ 还有最好好把本底真空压低一些~~~还有你们清洗的时候是不是出了什么问题~~最先用离子源轰击一下~~~

作者: gxbm 时间: 2007-9-11 14:41
我晕！！！

作者: shuangzixing 时间: 2007-9-11 19:39
铝加温到250度真空在10-2就可镀了真是晕了

作者: x_x_x_f 时间: 2007-9-11 19:46
提供以下建议供参考：
1.加烘烤时加到70度就可以了，不能加的过高。设备供应商不一定懂工艺的。
或者加离子轰击。低真空时轰击十分钟。
有离子源更好。镀铝之前轰几分钟就行了。
2.真空越高越好。一般到3.0E-3帕就没问题的了。
3.蒸发速度要快，越快越好。
按以上步骤镀出来还掉膜，就要考虑基片清洁度或者机台返油的问题了。

作者: 上海chen 时间: 2007-9-13 15:03
镀铝是镀膜技术中技术含量很低的工艺之一,一般来说再保证设备正常的情况下,真空度控制在1×10-3帕开始蒸发就可以了,这样的铝膜既牢固反射率又高.温度控制在70度即可.高了会增加吸收降低反射率.你的情况可能是机器返油了.要维护了.

作者: yong0009 时间: 2013-7-2 14:02

作者: jingxiaobao 时间: 2014-2-25 16:55
镀铝不能用太高的温度哦，我以前都是在70度左右蒸发，真空度3.0E-3Pa，用钨绞丝，大概在400A左右就可以了，

作者: lovemannyzhu 时间: 2014-4-2 20:54

镀铝不能用太高的温度哦，我以前都是在70度左右蒸发，真空度3.0E-3Pa，用钨绞丝，大概在400A左右就可以了，

作者: wdydede 时间: 2019-7-2 17:38

上海chen 发表于 2007-9-13 15:03
镀铝是镀膜技术中技术含量很低的工艺之一,一般来说再保证设备正常的情况下,真空度控制在1×10-3帕开始蒸发 ...

正解。不过镀铝也不简单。

作者: sery1234 时间: 2019-7-9 16:02

shuangzixing 发表于 2007-9-11 19:39
铝加温到250度真空在10-2就可镀了真是晕了

看到这帖子我也想这么说10-2 还加热250 呵呵

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-10 08:38

作者: wlinliu 时间: 2019-7-10 11:03
真空度最起码到5.5E-3Pa,密度要注意，不能太快。

作者: JJK-晶振片-何 时间: 2019-7-11 08:51
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