太高深了。
这么个难度你就这样请人帮忙?恐怕高人是不会贱的。
可以应用压电陶瓷来做。
小范围用压电陶瓷
楼主要求的1微米的精度
纯粹靠机械结构恐怕很难实现吧
(或许在下见识浅薄,没见过这么高精度的东东)