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标题: ic5故障，请高手指点阿 [打印本页]

作者: flashzhang 时间: 2006-11-11 00:12
标题: ic5故障，请高手指点阿

inficon ic5晶控仪故障，同时有光控和晶控条件下，熔药时电子枪电流正常，挡板打开后，正式镀膜时，没有电流

请教高手该如何处理？

谢谢

作者: wazxq 时间: 2006-11-11 18:01
熔药是自动的还是手动的~~~

作者: wanjun 时间: 2006-11-12 04:00
是不是蒸发速率设置有问题？

作者: lunik 时间: 2006-11-14 05:15
我们这以前也发生过类似问题，是离子源干扰电子枪，电子枪打火导致的，不知您的是什么原因？

作者: zzzz 时间: 2006-11-18 00:57
是不是IC5的设置有问题,或是根本没有设置成自动控制

作者: z1206l2006 时间: 2006-12-23 05:13

个人认为是冲入工作气体后，真空度突然变得太低。大于8.0E-4torr就会出现此问题。

应调整离子源的电压电流

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