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标题: [讨论]用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机 [打印本页]

作者: youfishno 时间: 2006-11-27 00:38
标题: [讨论]用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机

最近研发用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机（波长266，355nm）。

请问业界对使用激光划片机有什么具体要求？心得？

如，激光对掺杂的影响？对器件性能的影响等等？

作者: Daniel-Yuee 时间: 2006-12-13 19:33
这个东西作好的话，应该不错的

作者: ccc502 时间: 2007-11-14 12:50
标题: 好文章
往往区

作者: ccc502 时间: 2007-11-14 12:51
标题: 哪里有卖的
用于GaN基LD、LED衬底（Al2O3，SiC等）的激光划片机哪里有卖的?

作者: cscaosheng 时间: 2007-11-14 13:01
日本

做这个东东做的不错,
中科院好象有这个设备!

作者: ccc502 时间: 2007-11-14 13:11
标题: SiGe
那里有做这方面工作的

作者: ccc502 时间: 2007-11-14 13:12
标题: GaN
有没有做这个材料制备工作的,有的话请教一下

作者: taotao1230 时间: 2007-12-4 23:10
没有用过日本的...用过欧洲的！！！！！！！感觉没有锯片可靠

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