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标题: [讨论] Particle Problem [打印本页]

作者: kuan 时间: 2006-12-7 20:54
标题: [讨论] Particle Problem

真空镀膜制程里, Particle的问题经常发生

大家说说Particle到底如何产生的?

除材料、洁净室、基板…….还有其它的吗?

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