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标题: 代理美国COMDEL射频电源 [打印本页]

作者: limist 时间: 2007-1-29 22:04
标题: 代理美国COMDEL射频电源
美国COMDEL公司主要生产射频及直流电源，以及静电卡盘电源。公司拥有射频电源功率稳定专利－“S”技术，有效保护射频源及匹配器。
Comdel的射频电源为了满足半导体工艺中高频反应等离子系统的要求而设计的。其应用领域包括：刻蚀、RIE、平板、ICP、射频溅射、CVD和PVD，以及其他感应和介质加热等工业领域。
我公司是美国CODMEL射频电源在中国大陆的唯一代理。COMDEL射频电源的频率可以从2MHZ~100MHZ，功率可以从50W~150KW不等。COMDEL拥有在该领域的突破性专利技术“S”专利技术，可大大提高抵抗由于等离子体阻抗波动带来的功率增益的变化，提高电源的使用寿命，和匹配网络的稳定性。

　　有兴趣的朋友，请和我联系索取资料及了解技术信息：深圳市利方达科技有限公司　李波涛　ＭＯＢＩＬＥ：１３５７０８２９８８３　　libotao33@163.com

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CX射频电源

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