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标题: 代理美国AALBORG质量流量计 [打印本页]

作者: limist 时间: 2007-1-29 22:07
标题: 代理美国AALBORG质量流量计

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Aalborg Instruments Controls, Inc是世界上著名的气体质量流量计/控制气的生产厂家，其产品广泛用于微电子工艺、真空镀膜、材料科学、石油化工、医药、环保等领域。

设计性能：

1.不锈钢构造

2.最大压力500psig(34.5bars)

3.0~5Vdc或4~20mA信号

4.集成漏率1*10^-9sml/sec (He)

5.精确度±1%F.S

6.备选总量计数器

7.具电路保护功能

AF型质量流量控制器是为显示和控制气体流量而设计的。

技术参数：

1.精确度:±1% 满量程度FS (线性范围:气体T=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%F.S (线性范围:气体T=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)

2.重复性:±0.2%F.S

3.时间常数: AFM系列—300ms

AFC2600 (Qmax=15sL/min)—300ms

AFC3600 (Qmax=50sL/min)—600ms

AFC4600 (Qmax=100sL/min)—600ms

4.响应时间:AFM系列在设置流速(25~100% F.S)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒

5.温度系数: ±0.1%F.S/℃

6.压力系数: ±0.01%F.S/psi(0.07bars)

7.最佳气体压力: 25 psig(1.73bars)

8.最大的气体压力: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力

9.气体和环境温度: 5℃~50℃

10.漏率:最大漏率1*10^-9smL/sec (He)

11.流体接触材料: 316或416不绣钢, Viton O型圈, 备选O型圈:Neoprene或Kalrez

12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置

13.输出信号:0~5V (2000Ωmin,负载阻抗);4~20mA(0~500Ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mV

14.连接口:AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.

备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR® fittings.

15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% Vdc, 80 mA max,1.2W; ±15 ± 5% Vdc, 200 mA max, 3W;

AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% Vdc, 220 mA max, 3.3W; ±15 ±5% Vdc, 600 mA max, 9W.

16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。

具体详细资料，请参看附件的内容,如有需求更进一步了解，请和我联系,TEL:075526066939.LIBOTAO33@163.COM 李波涛

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