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标题: 如何控制散差和改善光洁度 [打印本页]

作者: punl 时间: 2007-3-6 21:49
标题: 如何控制散差和改善光洁度

我们公司现在镀膜过程中有时散差偏大，还有光洁度不太好，主要镀截止和增透，材料SiO2和TiO2。

作者: wazxq 时间: 2007-3-8 23:41
散差是什么~~~~~~~~~~~光洁度就复杂了很多原因都能引起~~~~~~~

作者: zzzz 时间: 2007-3-9 16:10

应该是均匀性差吧

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作者: shangdong 时间: 2007-3-14 06:14

镀膜过程中有时散差偏大，镀截止和增透，材料SiO2和TiO2

修正板修了几次还是那样　郁闷

作者: molang2003 时间: 2007-4-26 05:49

做补正板可不是件容易的事，这不光与补正板的形状有关，还与在蒸镀过程中光斑的位置有关系。

作者: repulsebay1234 时间: 2007-6-13 11:02
我们也准备镀SiO2和TiO2，高反。不知你们的设备情况，问题结决了吗？用离子源了吗？

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