光电工程师社区

标题: [推荐]镀膜机 [打印本页]

作者: hnzhang 时间: 2007-3-23 16:54
标题: [推荐]镀膜机

精于集成 善于制造

——奥普康全自动精密光学真空镀膜机的几大特征

惠州奥普康真空科技有限公司，专业生产真空镀膜设备及其核心部件，目前的主要产品包括精密光学真空镀膜机、电子枪和光学膜厚控制系统。

“精于集成，善于制造”是奥普康的产品研发理念。我们不仅能够按照您的要求和镀膜的需要对系统的结构和控制进行最好的集成，而且能够制造出一流的系统和部件，最大限度地满足您制备薄膜的需求。

高稳定性、高可靠性、高精度、自动化程度高、性价比高，是奥普康全自动精密光学真空镀膜设备有别于其他品牌镀膜设备的最大优势。结构设计上接近日本镀膜设备，设备性能上接近或超过韩国镀膜设备。

工作室大小φ600 ~ 1500mm，可以满足不同客户的需求。工业级电脑全自动控制，控制和工艺参数均可在电脑上设置。真空、烘烤、工转、充氧、电子枪（电源、束流、扫描）、电阻蒸发等全部可以自动控制。各种反馈及保护齐全，使用进口品牌高档器件，运行稳定可靠。

奥普康全自动精密光学真空镀膜机的特征：

一、合理的系统结构设计。

1、真空室（箱体）：宽度与高度比大，极大地提高了蒸镀膜系的均匀性和离子源能量作用的均匀性、膜层的质量；

如：φ630mm → 800mm（高度），比例约1／1.27；

φ800mm → 1000mm（高度），比例1／1.25；

φ1100mm → 1400mm（高度），比例约1／1.28；

φ1300mm → 1500mm（高度），比例约1／1.15；

2、排气口：高度低于工件盘下边沿，使真空室排气时不会形成涡流，不会把真空室内沉积的膜料尘埃带到已清洁过的工件玻璃上，有利于提高工件的光洁度；

3、真空室外壳冷却：采用不锈钢焊接扁方形水冷槽通水冷却（包含高阀壳、门的上、下方和门法兰密封圈等处），接触面积大，冷却效果好，有利于提高镀膜的重复性；烘烤加热丝冷端密封圈处和观察窗装有冷却水套，有效地降低了密封圈处的温度，解决了新设备在使用一段时间后由于密封圈受热老化而引起的真空漏率增大，设备抽速下降这一常见问题；

4、遮污隔热板：采用不锈钢多片挂式结构；方便拆卸，多片形式分散了其在受热后的变形量，解决了大片结构在受热变形时将其上蒸镀后沉积的膜料尘埃“弹飞”到工件玻璃上的缺点，有利于提高工件的光洁度；由于在真空室内热量主要是靠辐射方式传导的，烘烤盘周边的隔热板，有效地阻断了辐射到箱体的热量，并把部分热量反射回烘烤盘，提高了加热效率；

5、修正板机构：在箱体两侧安装两套气动可倒式自动修正板机构；在镀膜过程中高料、低料根据工艺要求自动使用不同的修正板，提高了工件膜层的均匀性，有助于镀制出高成品率的高质量膜系；

6、工件转动机构：安装在水套法兰内置于真空室外部，采用上驱动方式，使用了托环吊挂式特殊结构设计，转动平稳可靠，径向跳动≤2mm，轴向跳动≤1.5mm，承重≥100kg；转速为3-30rpm无级变速，自动状态下转速可按照设定的高、低速自动调整运行，配有数显间接转速指示表；转动平稳有利于高质量膜系的镀制；

7、烘烤：采用上烘烤加热方式；圆面加裙边的盆形结构形式，3 ~ 9根独立3kW进口φ3.2不锈钢管状加热丝，温度控制范围为常温到400 ℃，温度均匀性≤±5℃；有利于提高膜层的均匀性和重复性；

8、冷阱：采用双层双冷冷阱，能有效降低扩散泵返油率，提高抽速，降低真空室内污染，有利于提高膜层的牢固度和工件玻璃的光洁度；

9、真空测量：采用复合真空计，带通讯口，三点测量，两点在真空室侧面，一点在扩散泵出气口；三点测量较两点测量更能确保真空系统运行的安全性和可靠性，而这是整套设备安全可靠运行的基础；

10、旁通阀和慢放阀：设置了防湍旁通阀和缓慢充气的慢放阀，消除了真空室沉积的膜料尘埃“飞扬”的缺点，有效减少镀膜缺陷，确保工件玻璃的光洁度；

11、电子枪结构形式：枪头为开放式，电子束偏转靠的是永磁铁，电子束运转轨迹为270°，束流0～1000mA，发射电流的稳定性小于±2%；开放式结构可以安装任意多穴位、任意大直径的坩埚，使用户在选择时非常方便。

二、抽速快、密封性能好。

1、恢复真空时间：从大气抽至工作真空4×10^-3Pa时间小于15分钟；

2、密封性能：使用专业厂生产的专业真空橡胶密封圈，延长了密封圈的使用寿命和增强真空系统的密封性能；加上我们精心设计的冷却水套有效地降低了密封圈处的温度，解决了新设备在使用一段时间后由于密封圈受热老化而引起的真空漏率增大，设备抽速下降这一常见问题，因而密封寿命相比其他品牌的镀膜设备要长很多。

三、全自动控制。

1、控制方式：采用触摸屏组合式工控电脑＋PLC＋电气执行元件等组合成的全自动控制方式。

2、自动化程度高：可以实现从排气到蒸镀完成的一键控制，即从排气到蒸镀结束整个过程靠设备的强大的自动功能自动完成，而且实现全电脑编程自动化控制；

3、控制灵活：光控和晶控可以灵活控制。

方式1，由光控来控制膜层厚度，晶控控制蒸发源的功率；

方式2，整个工艺过程由晶控单独完成；

4、人机界面：为全中文触摸形式，另配有键盘和鼠标；强大的参数设置功能，免除了早期设备只能在分离部件上设置参数的繁琐，例如工艺参数在晶控上的小键盘上设置时就非常繁琐；

5、对设备的操作人员要求不高：设备的操作易学、易用；整套控制系统拥有友好的操作简单的人机界面，强大的自动控制功能，可靠的进口电器控制元件，实现了任何一个认识汉字的人经过简单的培训，就能按照工艺人员设计的工艺，镀制出高质量的优质膜系，是目前市场上能够替代进口的最佳全自动镀膜设备。

四、拥有日本技术的高可靠性和高稳定性的电子枪。

电子枪主要技术指标：

1、电子束偏转角：270°；

2、高压输出：－4KV ~ －10KV；输出稳定性小于±2%；纹波小于±5%；

3、发射电流：0 ~ 1000mA（10KV时），稳定性±2%；

4、最大输出功率：10KW；

此电子枪工作稳定，运行可靠，采用日本技术和进口元件，枪体关键部件采用进口原材料。束流和高压均是双路反馈控制，以确保束流和高压具有高稳定性。束流和高压的稳定度远超过上述的指标，数字仪表在全量程范围内束流、高压变动不超过2个字，且高压在束流调整中因有反馈稳压电路的作用不会变动。扫描均匀、稳定，使蒸发面平整，不会出现“扎坑”现象。

奥普康全自动精密光学真空镀膜设备，是目前市场上能够替代进口的最佳全自动镀膜设备。

非常感谢您在百忙当中抽空看完以上的介绍！如您对我们奥普康全自动精密光学真空镀膜设备感兴趣或有任何的疑问，请与我们联系。我们将竭诚为您服务和解答，竭尽全力满足您的镀膜需求。

uMfw2woj.jpg (129.55 KB, 下载次数: 30)