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标题: 光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板 [打印本页]

作者: qjs 时间: 2007-4-4 03:56
标题: 光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板
光刻光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板:
本公司美国图形发生器，该设备主要利用光刻正胶或负胶，在感光板上制作用于加工集成电路的高精度、高品质掩膜版，也可根据需求制作优质的光学码盘、码尺、分划板、标尺、光栅、镀盘、鉴别率板等精密光学零件的母板和任意图形。
光刻机性能参数：
可加工最小线宽：直接光刻 2.5 微米；重复步进 1 微米
  最大加工范围：    152毫米 × 220毫米
定位精度：       0.3微米
最小可控制增量： 0.1微米
                                          13057610151             钱先生             qjs69@126.com

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