光电工程师社区

标题: [求助]关于晶振仪 [打印本页]

作者: Guopt 时间: 2007-4-22 04:12
标题: [求助]关于晶振仪

各位大侠：

小弟试验用的设备配备的还是老式的XTC-2晶振仪，最近一次试验做了几罩之后沉积速率的控制就不准了（非常不准设置为3埃，变化范围-50～80），导致束流变化范围也很大（0-400），晶振片是开始试验的时候清洗的。不知道是什么问题，向各位请教。知道可能原因的还望不吝赐教。在此先谢过啦！

作者: hacker 时间: 2007-4-22 16:37
检查或清洁一下电子枪了﹐可能是灯丝弯了或枪太脏了

作者: Guopt 时间: 2007-4-23 21:41

谢谢，也有可能。这个枪使用了有一段时间啦！

为什么电子枪有问题就会影响到晶振仪啊？是打出来的膜料不均匀么？

电子枪的灯丝能不能清洗啊？我们备用的不多啊!

作者: Leesnow 时间: 2007-4-23 21:52
你们用的是什么枪啊，好象是不可以吧！

作者: 李伟华 时间: 2007-4-23 23:29

蒸发过程中厚度

波动大

1. 晶片受损

2. 晶片接近更换寿命

3. 晶片holder有脏物

4. 应力产生附着膜层脱落

5晶片被蒸发源的熔化材料冲击。

6. 小的磁性物体对探头产生影响

作者: 小技工 时间: 2007-4-24 18:34
赞同版主提供的建议，

作者: putinzhenkong 时间: 2011-9-23 11:42
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