光电工程师社区

标题: 请问国内那儿平面加工水平能达到λ/100的加工精度 [打印本页]

作者: cathy_f 时间: 2007-4-28 18:23
标题: 请问国内那儿平面加工水平能达到λ/100的加工精度
欲加工一高质量平板，请问国内那儿平面加工水平能达到λ/100的加工精度？材料为融石英

作者: afeiliu 时间: 2007-4-28 20:35

全地球还没有检测手段.

包括最高精度的ZYGO干涉仪系列,也只能测到1/60个波长(632.8).

而且出口到中国境内的,没有超过1/20的

飞宇光电

http://www.opticres.com

作者: ll1234567 时间: 2007-4-28 22:57

要看元件尺寸大小，λ=632.8nm，这个精度（PV值）基本上用于极紫外光刻，不过国内还不行，与欧美差距还是很大。

作者: cathy_f 时间: 2007-4-30 00:13

口径在60mm左右

作者: 一塌糊涂 时间: 2007-5-9 22:55
严重同意二楼的说法！！

作者: 河边草 时间: 2007-5-16 07:40
你是说PV值还是RMS？找Zygo在上海的代理，莱特太平洋公司，好像日本有。

作者: 蜘蛛人 时间: 2007-5-28 19:25

那加工就得不计成本了！而且也没有具体时间了！最主要的检测！！！！用什么检测？

作者: laijf 时间: 2007-5-30 08:36
是啊就是检测没有方法，没有检测设备从何谈加工精度。这也反映国内加工业的一个问题，高精度检测设备的自主研发技术不行，这也是导致国内加工业停滞不前的根本原因。现在的许多光学加工企业都是小作坊式的模式，靠国内的廉价劳动力来争市场而不是靠技术，我想这样的企业发展模式是很难作大作强的。

作者: 扬帆起航 时间: 2007-6-4 23:59
60mm口径,1/100波长,倒......我的个老天......你让我用环抛拖N年都没有希望.关键是没有办法检验呢.

作者: ds1234567 时间: 2007-8-11 11:27
我说个方法可以试试，78年五机部来鉴定300口径干涉仪时，国内来了几个专家，当时认为三面法可以证明，液面法不能被证明，只能被推算，所以标准平面三面法计算的。液面法：当用汞或硅油做参比表面，其表面半径是地球的半径值，地球半径均值6371001.00米，激光取632.8nm，用半径与矢高公式计算，计算结果是盛液盘直径300mm液面比几何平面凸起1/179道圈，在直径60内凸起1/4479道圈，平行光束来自长焦距光管，只是不能被验证具体值。

作者: liugz04 时间: 2007-8-12 17:46
上面的真专业阿,看了心寒

作者: lieren446 时间: 2007-8-26 17:27
利达光电南阳(原508厂)
目前超光滑可以做到nm级努点力完全可以满足你的需求！

作者: wildream 时间: 2007-8-27 11:03
如果是rms为λ/100,很多科研单位应该可以做到

10L的那个计算,我也曾算过8m口径的液面与平面的偏离量

作者: ds1234567 时间: 2007-8-31 08:47
看了11楼的贴我想到了，如果用环抛机加工直径为600mm的一块平板玻璃，光圈达到1个，就可以切割出100块直径60mm的光圈0.01的零件。

[ 本帖最后由 ds1234567 于 2007-8-31 09:19 编辑 ]

作者: chriscarrie 时间: 2007-8-31 10:05
难道现在还没有用X射线检测的方法吗? 盼高人出现.

作者: ds1234567 时间: 2007-9-10 05:58
别等白马王子啦，王子在宫中，外面都是白马。看看下面的文章，巨大的利益竞争王子无暇出宫。

极紫外光刻 .doc

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作者: yylzoptics 时间: 2007-9-10 16:26
我是过来长见识的，各位还真是专业！

作者: ds1234567 时间: 2007-9-12 06:55
楼主看你的玉照真可爱，系个红头绳，大眼睛扑打扑打的，但你倒是说句话，干不干那（加工零件意）。嗨，要是有意思就谈谈，不免强。哥哥邮箱 zwx2284587@163.com

作者: 22135799 时间: 2007-9-12 11:11
只要检测跟的上，就能满足客户需求

作者: ds1234567 时间: 2007-9-12 22:04
不是大平面镜悬在液面之上，平板直径大于300毫米时，自重会使表面向下凸起。是把平板浸在液体中，液面高于玻璃面少许，整个装置要恒温避免液体对流，罩上罩子避免空气扰动，避免振动。温度梯度要控制。现在高精度的干涉仪都让镜片测立着，将干涉仪做成卧式。

作者: tonylxt 时间: 2007-9-28 11:42
要检测很难很难，没有设备和那环境

作者: shenbb2470 时间: 2007-9-28 12:20
还有一个重要的问题，厚度？？？？？？
厚度大的我想国内应该可以做到的，只是没有办法检测
厚度小于３ＭＭ　就８８

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