光电工程师社区

标题: [求助]有没有人做微位移测量的？ [打印本页]

作者: hjzcky000 时间: 2007-5-21 17:19
标题: [求助]有没有人做微位移测量的？
精度要控制在10um以下

作者: hjzcky000 时间: 2007-5-21 17:20

还有，最好是反射式的

作者: wsminmin 时间: 2007-5-22 04:22
不懂，看来同一专业的不同方向也是各行如歌山啊

作者: 流落地球 时间: 2007-7-1 22:51
请问你的量程是多少？有兴趣可以联系phyldl@eyou.com

作者: bignet 时间: 2007-7-18 17:47
很简单，用干涉仪，嘿嘿，改混干涉仪，就懒得想别的办法了
或者四象限探测器？

作者: iViewdisplay 时间: 2007-7-20 18:05
laser triangulation, such as keyence sensor. LK or LC series

作者: tingwhere 时间: 2007-8-20 08:59
用现成的干涉仪不知道行不?

作者: zqxc60 时间: 2007-8-25 13:40
以前作过,,,,测量0.1um左右的形变,,,,,干涉法很直观,数据不好处理!
你这个干涉能测,,,但衍射法也能测,,,不过可能在相位解缠上比较麻烦!

作者: shaka2007 时间: 2007-8-29 15:45
可以考虑使用全息的办法

作者: tingwhere 时间: 2007-8-31 08:38
有哪位能说说用于位移测量的干涉仪的具体型号

作者: kilby 时间: 2007-12-20 22:30
you can try "Low coherence reflectrometry" for um resolutions.

作者: zcyclone 时间: 2007-12-23 21:54
精度与测量范围是紧密相关的,在小范围内做到亚微米级的都没有问题,方法也很多.

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