光电工程师社区

标题: 离子源和电子枪的问题 [打印本页]

作者: JangSin    时间: 2007-5-24 00:26
标题: 离子源和电子枪的问题

镀膜开始时,离子源自动切断,如果单开离子源能够正常工作。是不是电子枪的干扰造成的?如何解决?请指教,谢谢!!!


作者: huang12949    时间: 2007-5-24 02:39

干扰.

不过我遇到的情形是电子枪和离子源同时开电子枪老打火,然后电子枪高压断路.

我把高压电源电路清洁了一下子.就好了.


作者: dwzgy    时间: 2007-5-24 04:41

离子源手动如何?


作者: john03062003    时间: 2007-5-24 17:51

应该是电子枪高压打火导致的,清理以下电子枪就可以解决.试试看


作者: JangSin    时间: 2007-5-26 00:54

离子源手动可以正常工作


作者: dwzgy    时间: 2007-5-26 06:17

离子源使用的时候

气体流量由小到大操作

自动时,气体流量开始过大,此时可以看到镀膜机整体或者某一部件有过流现象

注意观察使用离子源时所发生的一些现象

另外:这种问题往往是离子源本身的问题,跟你的机器不够配套


作者: haifeng1860    时间: 2007-8-16 11:16
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