光电工程师社区

标题: [求助]电子枪和离子源的问题 [打印本页]

作者: JangSin    时间: 2007-6-1 16:15
标题: [求助]电子枪和离子源的问题
我公司的镀膜设备(韩国)当镀膜开始电子枪工作时,离子源自动断开,离子源报警。请问是什么原因?是不是电子枪干扰,如何解决?谢谢
前几天发过,但是不知道为什么被删了。
作者: kuan    时间: 2007-6-5 13:25
 Check your ion gun interlock
1) water
2) Vacuum
作者: hnzhang    时间: 2007-6-19 11:13
对头,呵呵,不过还向你推荐一下我们的枪,这些问题在我们的枪上面是杜绝的。OEBG-103A
作者: cchingoo    时间: 2007-7-12 11:31
谢谢啦,fawang983@163.com
作者: xcy1075    时间: 2007-7-27 14:52
把离子源和机了脱开,离子源手动枪自动
作者: ferry    时间: 2007-8-13 14:32

作者: huangdengpin    时间: 2007-8-13 23:00
(韩国)什么机呀?那家公司的呀?
作者: caidajun300    时间: 2007-11-12 11:27
在离子源外壳上加一个屏蔽罩或将离子源的接地线加粗!




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